[实用新型]一种用于晶圆片加工的甩干机

权利要求书

1.一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒(1)，其特征在于：所述控制盒(1)内设置有伺服电器(2)和控制器(3)，所述伺服电器(2)的输出端贯穿控制盒(1)的顶部并延伸至控制盒(1)的外侧，所述伺服电器(2)的输出端固定连接有转动盘(4)，所述转动盘(4)的顶部设置有夹持组件(5)，所述夹持组件(5)包括圆形安装盒(6)，所述圆形安装盒(6)内的底部中心处固定连接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的另一端固定连接有轴承圈(8)，所述轴承圈(8)的外圈固定连接有蜗轮(9)，所述圆形安装盒(6)内左右对称设置有轴承座(10)，两个所述轴承座(10)的轴承内圈固定连接有蜗杆(11)，所述蜗杆(11)的一端贯穿轴承座(10)和圆形安装盒(6)的侧壁并固定连接有调节块(12)，所述蜗杆(11)和蜗轮(9)齿轮啮合，所述蜗轮(9)的顶部固定连接有旋转盘(13)，所述旋转盘(13)的顶部周向阵列有三个长条滑槽(14)，三个所述长条滑槽(14)均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽(14)内均活动连接有第一滑动块(15)，三个第一滑动块(15)的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块(15)的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块(16)，所述圆形安装盒(6)的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块(16)穿过的T型滑槽(17)，三个所述第二滑动块(16)贯穿相对应的T型滑槽(17)并延伸至圆形安装盒(6)的顶部外侧，三个所述第二滑动块(16)的顶部均固定连接有夹持隔离杆(18)；

所述夹持隔离杆(18)包括安装框(19)，所述安装框(19)内的一侧竖向设置有多个转动杆(20)，所述转动杆(20)的下方均设置有第一限位杆(21)和第二限位杆(32)，所述第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均与安装框(19)的内侧壁固定连接，所述第二限位杆(32)位于第一限位杆(21)的上方，所述第一限位杆(21)均位于远离圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述第二限位杆(32)均位于靠近圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述转动杆(20)、第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均平行于圆形安装盒(6)的顶部，位于安装框(19)最下方的所述转动杆(20)均活动连接有第一限位薄片(22)，位于第一限位薄片(22)上方的所述转动杆(20)均活动连接有第二限位薄片(23)，所述第一限位薄片(22)靠近圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧，所述第一限位薄片(22)远离圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧并其底部固定连接有重力块(24)，所述第二限位薄片(23)靠近圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的内侧，所述第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧并其底部通过第一活动销活动连接有连杆(25)，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处一端的上表面均固定连接有限位滑轨(26)，所述限位滑轨(26)均通过第二活动销与相对应的连杆(25)活动连接，所述限位滑轨(26)与第二活动销活动连接，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)远离圆形安装盒(6)中心处一端的下表面与第二限位杆(32)相抵触，所述第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)位于限位滑轨(26)处的上表面与处于垂直状态的连杆(25)下端存在活动距离，所述安装框(19)靠近圆形安装盒(6)中心处的框边竖向开设有凹口(27)，所述凹口(27)与平行于圆形安装盒(6)顶部的第一限位薄片(22)和第二限位薄片(23)的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述旋转盘(13)的顶部和环形侧面均与圆形安装盒(6)的内侧壁存在安全间隙。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：三个所述第一滑动块(15)和相对应的长条滑槽(14)为间隙配合，三个所述第二滑动块(16)和相对应的T型滑槽(17)为间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的甩干机，其特征在于：所述圆形安装盒(6)的环形侧面对称开设有嵌入槽(28)，所述轴承座(10)嵌入相对应的嵌入槽(28)内侧并通过第一螺钉与圆形安装盒(6)螺纹连接。