[实用新型]一种用于晶圆片加工的甩干机

说明书

本实用新型涉及晶圆片生产技术领域，且公开了一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆。本实用新型通过夹持组件可同时调整三个夹持隔离杆之间的间距，来使其夹持不同直径的晶圆片，操作简单方便，泛用性强，夹持隔离杆上的第一限位薄片和第二限位薄片可间隔放置晶圆片，无需手动调整晶圆片之间的距离，使该设备可同时甩干多片晶圆片，提高甩干效率，减少工人劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片生产技术领域，具体为一种用于晶圆片加工的甩干机。

背景技术

晶圆片是由晶棒根据设计尺寸切割，再经过车削，研磨，腐蚀等工艺加工成的。晶圆片表面经过腐蚀后表面成分复杂，有大量的金属离子和有机物，并且牢固的吸附在晶圆片上，如果不清除并被真空镀膜银层电极覆盖后，会导致晶圆片的相关产品质量不合格，废品率高。

所以要对镀膜前的晶圆片进行清洗，清洗后的晶圆片表面带有水迹，如果不进行充分的甩干或干燥，同样会对晶圆片的频率造成很大的影响，生产出来的晶体就会不合格，所以对晶圆片清洗后的干燥操作是非常重要的环节。

目前国内大多公司一般使用微波炉或者专门的烘箱对晶圆片进行干燥，其本身会对晶圆片造成污染，且用微波炉时晶圆片会跳动，可能会造成晶圆片的损伤。干燥的时间太长而且不容易掌控，微波炉使用的时间长后容易发生故障。

有些国内公司则使用甩干机，现有的甩干机存在一下问题：其一，加工的晶规格不同，现有的甩干机需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，且在使用时需要频繁地更换，增加操作人员的劳动强度，容易出现更换失误，导致废品率高，生产效率低；其二，不同的规格的固定容器为了便于操作人员放入晶圆片，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，当甩干机做高速的离心运行时，由于惯性的特点，在启动与停止瞬间，晶圆片与固定容器内壁发生严重的碰撞，从而造成晶圆片边缘的损伤或内部出现微裂纹，更严重造成产品碎裂，从而造成直接或间接的损失或事故；其三，现有的甩干机只能固定一片晶圆片并对其进行甩干，甩干效率低，增加操作人员劳动强度，因此发明人设计了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决了现有的甩干机只能固定一片晶圆片且需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，需要频繁更换，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，在启动与停止瞬间两者会发生严重碰撞的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有轴承圈，所述轴承圈的外圈固定连接有蜗轮，所述圆形安装盒内左右对称设置有轴承座，两个所述轴承座的轴承内圈固定连接有蜗杆，所述蜗杆的一端贯穿轴承座和圆形安装盒的侧壁并固定连接有调节块，所述蜗杆和蜗轮齿轮啮合，所述蜗轮的顶部固定连接有旋转盘，所述旋转盘的顶部周向阵列有三个长条滑槽，三个所述长条滑槽均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽内均活动连接有第一滑动块，三个第一滑动块的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块，所述圆形安装盒的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块穿过的T型滑槽，三个所述第二滑动块贯穿相对应的T型滑槽并延伸至圆形安装盒的顶部外侧，三个所述第二滑动块的顶部均固定连接有夹持隔离杆；