[实用新型]一种高稳定性的干法刻蚀设备

权利要求书

1.一种高稳定性的干法刻蚀设备，包括底座(1)和工艺箱(2)，其特征在于：

所述工艺箱(2)位于底座(1)上方；

所述工艺箱(2)左侧下端固定连接有安装板(105)，所述安装板(105)上面开有凹槽(112)，所述凹槽(112)内部上方设有连接板(114)，所述连接板(114)上面安装有真空泵(106)，所述连接板(114)与凹槽(112)槽底之间固定连接有若干根呈等距分布的缓冲弹簧(113)，所述真空泵(106)上端与工艺箱(2)左侧中部之间固定连接有连接管(107)，所述真空泵(106)与工艺箱(2)通过连接管(107)相通；

所述工艺箱(2)内壁顶面安装有阴极载体(201)，所述工艺箱(2)内壁底面安装有阳极载体(202)，所述阳极载体(202)内部设有冷却腔(205)，所述工艺箱(2)上下侧左端均安装有高频电源(203)，所述工艺箱(2)上方右侧安装有气体质量流量控制器(204)，所述工艺箱(2)下面右侧和安装板(105)下面左侧与底座(1)上面之间均固定连接有支撑柱(104)，所述底座(1)上面固定连接有冷却箱(102)，所述冷却箱(102)位于支撑柱(104)内侧，所述冷却箱(102)位于下面的所述高频电源(203)下方；

所述底座(1)上面左侧固定连接有立板(101)，所述立板(101)右面安装有若干个呈垂直等距分布的风机(103)，所述风机(103)位于安装板(105)左侧。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的干法刻蚀设备，其特征在于：左边的所述支撑柱(104)左面固定连接有连接块(110)，所述连接块(110)左面开有滑槽(109)。

3.根据权利要求2所述的一种高稳定性的干法刻蚀设备，其特征在于：所述立板(101)右面下端铰接有两根呈上下对称分布的铰接杆(108)，上下两根所述铰接杆(108)右端与滑槽(109)槽底上下端之间均固定连接有弹簧(111)。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定性的干法刻蚀设备，其特征在于：所述连接板(114)左右两侧与凹槽(112)内壁左右面之间均设有弹性铁片(115)，所述弹性铁片(115)内壁左右面均螺纹连接有螺栓(116)，所述弹性铁片(115)通过螺栓(116)与连接板(114)和安装板(105)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性的干法刻蚀设备，其特征在于：所述冷却箱(102)内壁顶面左右两侧分别安装有水泵二(208)和水泵一(207)。

6.根据权利要求5所述的一种高稳定性的干法刻蚀设备，其特征在于：所述水泵二(208)与冷却腔(205)左侧之间固定连接有入液管(209)，所述入液管(209)位于下面的所述高频电源(203)左侧，所述水泵二(208)和冷却腔(205)之间通过入液管(209)相通，所述水泵一(207)与冷却腔(205)右侧之间固定连接有出液管(206)，所述水泵一(207)和冷却腔(205)之间通过出液管(206)相通。