[实用新型]二分之一硅片吸盘

说明书

本实用新型涉及一种二分之一硅片吸盘。本实用新型包括吸盘本体,所述吸盘本体支撑于支撑部,所述支撑部包括支撑座,所述支撑座上设有通槽,所述吸盘本体的连接端自所述通槽一端穿设于所述通槽,所述吸盘本体的连接端设有延伸部；所述支撑部位于所述通槽的至少一侧沿所述吸盘的厚度方向设有卡止槽,所述卡止槽与所述通槽连通,所述卡止槽内设有卡止件,当所述延伸部趋向于所述卡止槽内时受限于所述卡止件。吸盘与支撑座采用插入式连接，通过支撑座设置通槽，对吸盘的连接端进行改进使之通槽适配，在通过卡止件和卡止槽将吸盘固定，可任意选择插入的吸盘数量，且更换较为便捷。

技术领域

本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其是指一种二分之一硅片吸盘。

背景技术

目前，硅片在生产过程中通常采用真空吸盘或者静电吸盘进行吸附固定，将其从石英舟上拔出。然而现有的吸盘，通常是采用螺钉等部件将其与支撑座进行固定，使用不够便捷。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中吸盘与支撑座之间的连接方式不够便捷的技术问题,从而提供一种能够快速将多个吸盘插入支撑座的二分之一硅片吸盘。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种二分之一硅片吸盘，包括吸盘本体,所述吸盘本体支撑于支撑部,所述支撑部包括支撑座,所述支撑座上设有通槽,所述吸盘本体的连接端自所述通槽一端穿设于所述通槽,所述吸盘本体的连接端设有延伸部；所述支撑部位于所述通槽的至少一侧沿所述吸盘的厚度方向设有卡止槽,所述卡止槽与所述通槽连通,所述卡止槽内设有卡止件,当所述延伸部趋向于所述卡止槽内时受限于所述卡止件。

在本实用新型的一个实施例中，所述吸盘本体为真空吸盘,所述吸盘本体的吸取面设有吸取孔,所述吸取孔分布在所述吸取面的两侧，所述吸盘本体的连接端设有吸取口，所述吸盘本体中空且与所述吸取孔和吸取口连通。

在本实用新型的一个实施例中，所述支撑部还包括连接所述支撑座的抽气盖,所述抽气盖位于所述通槽的另一端,所述抽气盖朝向所述支撑座的一面设有集气槽，所述集气槽与所述吸取口正对设置，所述抽气盖与所述集气槽相背的一面设有抽气孔，所述抽气孔与所述集气槽连通。

在本实用新型的一个实施例中，所述支撑座沿长度方向分布若干所述通槽，所述通槽沿所述支撑座的长度方向依次设置。

在本实用新型的一个实施例中，所述通槽的宽度方向与所述支撑座的长度方向相同。

在本实用新型的一个实施例中，所述抽气盖分布若干所述集气槽，所述集气槽与所述吸盘本体的吸取口一一对应。

在本实用新型的一个实施例中，所述集气槽的外侧设置密封件。

在本实用新型的一个实施例中，相邻所述集气槽对应的所述抽气孔错位排列。

在本实用新型的一个实施例中，分布在所述抽气盖上的所述抽气孔呈两列设置。

在本实用新型的一个实施例中，所述吸盘本体的吸取面的方向相同。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的硅片吸盘，吸盘与支撑座采用插入式连接，通过支撑座设置通槽，对吸盘的连接端进行改进使之通槽适配，再通过卡止件和卡止槽将吸盘固定，可任意选择插入的吸盘数量，且更换较为便捷。

本实用新型所述的硅片吸盘，吸盘的两侧均设有吸取孔，可满足二分之一硅片的吸取要求。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1是本实用新型第一实施例中二分之一硅片吸盘的结构示意图。