[实用新型]一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件有效

申请号：	202120672744.3	申请日：	2021-03-31
公开（公告）号：	CN214881815U	公开（公告）日：	2021-11-26
发明（设计）人：	荣海洋	申请（专利权）人：	上海陆派实业有限公司
主分类号：	C23C16/44	分类号：	C23C16/44;C23C16/34
代理公司：	上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355	代理人：	雍常明
地址：	200233 上海市浦***	国省代码：	上海;31
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摘要：
搜索关键词：	一种 12 寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件
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【权利要求书】：

1.一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，包括排气管(1)，所述排气管(1)的数量为若干个，相邻的两个所述排气管(1)之间通过法兰(2)固定连接，其特征在于，所述排气管(1)的内壁设有套筒组件(3)；

所述套筒组件(3)包括第一套筒(31)，所述第一套筒(31)的顶部固定安装有支撑板(32)，所述第一套筒(31)的内壁活动安装有第二套筒(33)，所述支撑板(32)的内部开设有通孔，所述通孔的内径大小与第一套筒(31)的内径大小相同。

2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，其特征在于，所述第一套筒(31)和第二套筒(33)的内壁呈粗糙结构。

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