[实用新型]一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件有效

专利信息
申请号: 202120672744.3 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN214881815U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 荣海洋 申请(专利权)人: 上海陆派实业有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/34
代理公司: 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 代理人: 雍常明
地址: 200233 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 12 寸晶圆 化学 气相淀积 氮化 钛腔体 颗粒 改善 套件
【说明书】:

实用新型公开了一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,具体涉及工艺腔体技术领域,包括排气管,所述排气管的数量为若干个,相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接,所述排气管的内壁设有套筒组件。上述方案中,通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套,使得很好的保护了FORLINE的连接口,新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂,具有一定的粗糙度,且表面粗糙度均匀,使得颗粒都可以黏附在上面,不容易掉落,在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲,由于颗粒被吸附在保护套内壁表面,颗粒不会反冲上去,使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污,从而避免了晶圆颗粒超标报废,提高了晶圆的良率和设备的使用率。

技术领域

本实用新型涉及工艺腔体技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种12 寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。

背景技术

AMAT 300MM TXZ CHAMBER在生产工艺中,由于FORLINE的阀体没有保护,导致金属膜不容易黏附,颗粒容易掉落;工艺过程中,需要从干泵切换到分子泵抽腔体的,由于分子泵的抽力更大,所以会导致干泵FORLINE阀体的没有保护的掉落颗粒反冲上来,掉落在晶圆的表面,干泵排气管内的颗粒反冲上来影响晶圆,导致晶圆颗粒超标报废或良率低的问题,缺少一个避免颗粒反冲,对颗粒进行收集的装置。

因此亟需提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,以解决现有技术的颗粒反冲影响晶圆的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,包括排气管,所述排气管的数量为若干个,相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接,所述排气管的内壁设有套筒组件。

优选地,所述套筒组件包括第一套筒,所述第一套筒的顶部固定安装有支撑板,所述第一套筒的内壁活动安装有第二套筒,所述支撑板的内部开设有通孔,所述通孔的内径大小与第一套筒的内径大小相同。

优选地,所述第一套筒和第二套筒的内壁呈粗糙结构。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:

上述方案中,通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套,使得很好的保护了FORLINE的连接口,新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂,具有一定的粗糙度,且表面粗糙度均匀,使得颗粒都可以黏附在上面,不容易掉落,在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲,由于颗粒被吸附在保护套内壁表面,颗粒不会反冲上去,使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污,从而避免了晶圆颗粒超标报废,提高了晶圆的良率和设备的使用率。

附图说明

图1为本实用新型的整体内部有结构示意图;

图2为本实用新型的套筒组件结构示意图。

[附图标记]

1、排气管;2、法兰;3、套筒组件;31、第一套筒;32、支撑板;33、第二套筒。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如附图1至附图2本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,包括排气管1,所述排气管1的数量为若干个,相邻的两个所述排气管1之间通过法兰2固定连接,所述排气管1的内壁设有套筒组件3。

如图2,所述套筒组件3包括第一套筒31,所述第一套筒31的顶部固定安装有支撑板32,所述第一套筒31的内壁活动安装有第二套筒33,所述支撑板32的内部开设有通孔,所述通孔的内径大小与第一套筒31的内径大小相同。

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