[实用新型]一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件有效
申请号: | 202120672744.3 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN214881815U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 荣海洋 | 申请(专利权)人: | 上海陆派实业有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/34 |
代理公司: | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人: | 雍常明 |
地址: | 200233 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 12 寸晶圆 化学 气相淀积 氮化 钛腔体 颗粒 改善 套件 | ||
本实用新型公开了一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,具体涉及工艺腔体技术领域,包括排气管,所述排气管的数量为若干个,相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接,所述排气管的内壁设有套筒组件。上述方案中,通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套,使得很好的保护了FORLINE的连接口,新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂,具有一定的粗糙度,且表面粗糙度均匀,使得颗粒都可以黏附在上面,不容易掉落,在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲,由于颗粒被吸附在保护套内壁表面,颗粒不会反冲上去,使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污,从而避免了晶圆颗粒超标报废,提高了晶圆的良率和设备的使用率。
技术领域
本实用新型涉及工艺腔体技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种12 寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。
背景技术
AMAT 300MM TXZ CHAMBER在生产工艺中,由于FORLINE的阀体没有保护,导致金属膜不容易黏附,颗粒容易掉落;工艺过程中,需要从干泵切换到分子泵抽腔体的,由于分子泵的抽力更大,所以会导致干泵FORLINE阀体的没有保护的掉落颗粒反冲上来,掉落在晶圆的表面,干泵排气管内的颗粒反冲上来影响晶圆,导致晶圆颗粒超标报废或良率低的问题,缺少一个避免颗粒反冲,对颗粒进行收集的装置。
因此亟需提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。
实用新型内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,以解决现有技术的颗粒反冲影响晶圆的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,包括排气管,所述排气管的数量为若干个,相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接,所述排气管的内壁设有套筒组件。
优选地,所述套筒组件包括第一套筒,所述第一套筒的顶部固定安装有支撑板,所述第一套筒的内壁活动安装有第二套筒,所述支撑板的内部开设有通孔,所述通孔的内径大小与第一套筒的内径大小相同。
优选地,所述第一套筒和第二套筒的内壁呈粗糙结构。
本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:
上述方案中,通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套,使得很好的保护了FORLINE的连接口,新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂,具有一定的粗糙度,且表面粗糙度均匀,使得颗粒都可以黏附在上面,不容易掉落,在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲,由于颗粒被吸附在保护套内壁表面,颗粒不会反冲上去,使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污,从而避免了晶圆颗粒超标报废,提高了晶圆的良率和设备的使用率。
附图说明
图1为本实用新型的整体内部有结构示意图;
图2为本实用新型的套筒组件结构示意图。
[附图标记]
1、排气管;2、法兰;3、套筒组件;31、第一套筒;32、支撑板;33、第二套筒。
具体实施方式
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如附图1至附图2本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件,包括排气管1,所述排气管1的数量为若干个,相邻的两个所述排气管1之间通过法兰2固定连接,所述排气管1的内壁设有套筒组件3。
如图2,所述套筒组件3包括第一套筒31,所述第一套筒31的顶部固定安装有支撑板32,所述第一套筒31的内壁活动安装有第二套筒33,所述支撑板32的内部开设有通孔,所述通孔的内径大小与第一套筒31的内径大小相同。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的