[实用新型]一种12吋晶圆盒门体解锁机构

权利要求书

1.一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，包括：

支承装配组件，该支承装配组件安装于移动机构上，可随移动机构一同移动位置，使其靠近或远离晶圆盒门体，支承装配组件上具有安装空间；

吸合定位组件，该吸合定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体的外壁表面配合，由吸合定位组件对晶圆盒门体进行吸合定位；

插接定位组件，该插接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的插接结构配合，由插接定位组件对晶圆盒门体进行插接定位；

插接解锁组件，该插接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的锁定结构配合，由插接解锁组件对晶圆盒门体进行插接解锁；

解锁驱动组件，该解锁驱动组件安装于支承装配组件上，并通过传动结构与插接解锁组件衔接，由解锁驱动组件带动插接解锁组件运转。

2.根据权利要求1所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，支承装配组件包括：

支承基板，该支承基板安装于移动机构上，其形状与晶圆盒门体的形状适配，吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件安装于支承基板上。

3.根据权利要求2所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，吸合定位组件包括：

吸合盘片，该吸合盘片安装于支承基板上，并向支承基板外侧凸出，该吸合盘片设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动；

转接气管，该转接气管安装于支承基板上，其一端与吸合盘片连通，另一端与抽气机构连通，使吸合盘片可对晶圆盒门体进行吸合定位。

4.根据权利要求3所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，插接定位组件包括：

定位销柱，该定位销柱安装于支承基板上，并向支承基板外侧伸出，该定位销柱设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动，各定位销柱分别与晶圆盒门体中的插接销孔配合，使定位销柱可插入插接销孔内，对晶圆盒门体进行定位。

5.根据权利要求4所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于：

各定位销柱分别与吸合盘片位置对应，吸合盘片环绕于定位销柱外侧。

6.根据权利要求2所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，插接解锁组件包括：

解锁钥匙，该解锁钥匙安装于支承基板上，并向支承基板外侧伸出，该解锁钥匙设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动，各解锁钥匙分别与晶圆盒门体中的锁具配合，使解锁钥匙可插入锁具内。

7.根据权利要求6所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，解锁驱动组件包括：

驱动电机，该驱动电机安装于支承基板上，其动力输出轴上安装有驱动轮盘，由驱动电机带动驱动轮盘转动；

解锁轮盘，该解锁轮盘设有至少一对，各解锁轮盘分别安装于支承基板上，可在支承基板上转动，各解锁轮盘分别与解锁钥匙连接，解锁钥匙可随解锁轮盘一同转动；

传动环带，该传动环带包绕于驱动轮盘及解锁轮盘上，驱动轮盘通过传动环带带动解锁轮盘转动，使解锁轮盘带动解锁钥匙转动，并使解锁钥匙对锁具进行解锁。

8.根据权利要求7所述的一种12吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，解锁驱动组件还包括：

传动惰轮，该传动惰轮安装于支承基板上，并抵住传动环带内壁；

张紧轮组，该张紧轮组安装于支承基板上，并抵住传动环带外壁，由张紧轮组对传动环带进行张紧处理。