[实用新型]一种12吋晶圆盒门体解锁机构

说明书

本实用新型提出一种12吋晶圆盒门体解锁机构，包括支承装配组件、吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件，支承装配组件安装于移动机构上，支承装配组件上具有安装空间，吸合定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体的外壁表面配合，插接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的插接结构配合，插接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的锁定结构配合，解锁驱动组件安装于支承装配组件上，并通过传动结构与插接解锁组件衔接，该解锁机构通过驱动电机带动解锁钥匙转动解锁钥匙转动，对晶圆盒门体进行解锁，晶圆盒门体在解锁后可随支承基板一同移走，将晶圆盒打开，操作便捷，有利于提升工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，尤其涉及一种12吋晶圆盒门体解锁机构。

背景技术

在一种晶圆片的生产过程中，常需要采用标准的封闭式箱体即晶圆盒对晶圆片进行储存，该晶圆盒设置有锁定结构，使用时采用解锁机构对其进行解锁，并采用取放设备将这些晶圆片在晶圆盒与加工装置之间移送，常用的解锁机构解锁操作不方便，容易发生故障，影响生产的顺利进行。因此，有必要对这种晶圆盒解锁装置进行结构优化，以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种12吋晶圆盒门体解锁机构，以便于对晶圆盒门体进行解锁。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种12吋晶圆盒门体解锁机构，包括：

支承装配组件，该支承装配组件安装于移动机构上，可随移动机构一同移动位置，使其靠近或远离晶圆盒门体，支承装配组件上具有安装空间；

吸合定位组件，该吸合定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体的外壁表面配合，由吸合定位组件对晶圆盒门体进行吸合定位；

插接定位组件，该插接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的插接结构配合，由插接定位组件对晶圆盒门体进行插接定位；

插接解锁组件，该插接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的锁定结构配合，由插接解锁组件对晶圆盒门体进行插接解锁；

解锁驱动组件，该解锁驱动组件安装于支承装配组件上，并通过传动结构与插接解锁组件衔接，由解锁驱动组件带动插接解锁组件运转。

进一步，支承装配组件包括：

支承基板，该支承基板安装于移动机构上，其形状与晶圆盒门体的形状适配，吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件安装于支承基板上。

进一步，吸合定位组件包括：

吸合盘片，该吸合盘片安装于支承基板上，并向支承基板外侧凸出，该吸合盘片设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动；

转接气管，该转接气管安装于支承基板上，其一端与吸合盘片连通，另一端与抽气机构连通，使吸合盘片可对晶圆盒门体进行吸合定位。

进一步，插接定位组件包括：

定位销柱，该定位销柱安装于支承基板上，并向支承基板外侧伸出，该定位销柱设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动，各定位销柱分别与晶圆盒门体中的插接销孔配合，使定位销柱可插入插接销孔内，对晶圆盒门体进行定位。

在本实用新型的一个实施例中，各定位销柱分别与吸合盘片位置对应，吸合盘片环绕于定位销柱外侧。

进一步，插接解锁组件包括：

解锁钥匙，该解锁钥匙安装于支承基板上，并向支承基板外侧伸出，该解锁钥匙设有至少一对，并分别位于支承基板两端，可随支承基板一同移动，各解锁钥匙分别与晶圆盒门体中的锁具配合，使解锁钥匙可插入锁具内。