[实用新型]一种12吋晶圆盒自动解锁装置

权利要求书

1.一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，包括：

支承装配组件，该支承装配组件中具有安装空间；

盒体定位组件，该盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，由盒体定位组件对晶圆盒进行定位；

竖向移动组件，该竖向移动组件安装于支承装配组件上，可在支承装配组件中沿竖向移动；

横向移动组件，该横向移动组件安装于竖向移动组件上，可随竖向移动组件一同沿竖向移动，并可在竖向移动组件上沿横向移动；

配接解锁组件，该配接解锁组件安装于横向移动组件上，可随横向移动组件一同沿竖向及横向移动，其结构与晶圆盒的锁定结构配合，由配接解锁组件对晶圆盒进行解锁处理。

2.根据权利要求1所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，支承装配组件包括：

支承架体，该支承架体中具有安装空间，竖向移动组件安装于支承架体中；

装配面板，该装配面板安装于支承架体前部，装配面板中开设有与晶圆盒适配的取放通口；

装配载板，该装配载板安装于支承架体顶部，并位于装配面板后方，盒体定位组件安装于装配载板上。

3.根据权利要求2所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，盒体定位组件包括：

定位平台，该定位平台通过滑动结构安装于装配载板上，可在装配载板上移动，晶圆盒置于定位平台上，可随定位平台移动；

调节推杆，该调节推杆安装于装配载板上，并与定位平台衔接，由调节推杆带动定位平台移动，使定位平台靠近或远离装配面板。

4.根据权利要求3所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，盒体定位组件还包括：

定位拉簧，该定位拉簧安装于定位平台与装配载板之间，由定位拉簧带动定位平台向装配面板移动，使晶圆盒与取放通口配合。

5.根据权利要求3所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，竖向移动组件包括：

竖向平台，该竖向平台通过竖向导轨安装于支承架体中，并与驱动结构衔接，可沿竖向导轨移动。

6.根据权利要求5所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，横向移动组件包括：

横向平台，该横向平台通过横向导轨安装于竖向平台上，并与驱动结构衔接，可沿横向导轨移动。

7.根据权利要求6所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，配接解锁组件包括：

配接载架，该配接载架安装于横向平台上，可随横向平台一同移动，其形状与取放通口适配，可经取放通口与晶圆盒门体接合；

配接销柱，该配接销柱安装于配接载架上，并与开设于晶圆盒门体中的销孔适配，配接载架与晶圆盒门体接合时，配接销柱伸入销孔内；

吸附盘片，该吸附盘片安装于配接载架上，配接载架与晶圆盒门体接合时，吸附盘片吸住晶圆盒门体；

解锁钥匙，该解锁钥匙安装于配接载架上，并与晶圆盒门体中的锁孔适配，配接载架与晶圆盒门体接合时，解锁钥匙伸入锁孔内；

解锁电机，该解锁电机安装于配接载架上，并与解锁钥匙衔接，由解锁电机带动解锁钥匙运转，对晶圆盒进行解锁。