[实用新型]一种12吋晶圆盒自动解锁装置

说明书

本实用新型提出一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括支承装配组件、盒体定位组件、竖向移动组件、横向移动组件及配接解锁组件，支承装配组件中具有安装空间，盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，竖向移动组件安装于支承装配组件上，横向移动组件安装于竖向移动组件上，配接解锁组件安装于横向移动组件上。该晶圆储存装置将设有吸附盘片及解锁钥匙的配接载架安装于横向平台上，而横向平台安装于竖向平台上，使配接载架可进行竖向及横向移动，当配接载架移动至晶圆盒门体处时，吸附盘片吸住晶圆盒门体，同时解锁钥匙对晶圆盒解锁，而后再携带解锁后的晶圆盒门体移开，从而实现自动化上下料，可提高工作效率，减少故障。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，尤其涉及一种12吋晶圆盒自动解锁装置。

背景技术

在一种晶圆片的生产过程中，常需要采用标准的封闭式箱体即晶圆盒对晶圆片进行储存，该晶圆盒设置有锁定结构，使用时采用解锁装置对其进行解锁，并采用取放设备将这些晶圆片在晶圆盒与加工装置之间移送，常用的解锁装置在取放时解锁不方便，容易发生故障，影响生产的顺利进行。因此，有必要对这种晶圆盒解锁装置进行结构优化，以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种12吋晶圆盒自动解锁装置，以便于对12吋晶圆盒进行解锁。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括：

支承装配组件，该支承装配组件中具有安装空间；

盒体定位组件，该盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，由盒体定位组件对晶圆盒进行定位；

竖向移动组件，该竖向移动组件安装于支承装配组件上，可在支承装配组件中沿竖向移动；

横向移动组件，该横向移动组件安装于竖向移动组件上，可随竖向移动组件一同沿竖向移动，并可在竖向移动组件上沿横向移动；

配接解锁组件，该配接解锁组件安装于横向移动组件上，可随横向移动组件一同沿竖向及横向移动，其结构与晶圆盒的锁定结构配合，由配接解锁组件对晶圆盒进行解锁处理。

进一步，支承装配组件包括：

支承架体，该支承架体中具有安装空间，竖向移动组件安装于支承架体中；

装配面板，该装配面板安装于支承架体前部，装配面板中开设有与晶圆盒适配的取放通口；

装配载板，该装配载板安装于支承架体顶部，并位于装配面板后方，盒体定位组件安装于装配载板上。

进一步，盒体定位组件包括：

定位平台，该定位平台通过滑动结构安装于装配载板上，可在装配载板上移动，晶圆盒置于定位平台上，可随定位平台移动；

调节推杆，该调节推杆安装于装配载板上，并与定位平台衔接，由调节推杆带动定位平台移动，使定位平台靠近或远离装配面板。

进一步，盒体定位组件还包括：

定位拉簧，该定位拉簧安装于定位平台与装配载板之间，由定位拉簧带动定位平台向装配面板移动，使晶圆盒与取放通口配合。

进一步，竖向移动组件包括：

竖向平台，该竖向平台通过竖向导轨安装于支承架体中，并与驱动结构衔接，可沿竖向导轨移动。

进一步，横向移动组件包括：

横向平台，该横向平台通过横向导轨安装于竖向平台上，并与驱动结构衔接，可沿横向导轨移动。

进一步，配接解锁组件包括：