[实用新型]一种化学气相沉积用石英舟

权利要求书

1.一种化学气相沉积用石英舟，包括两个石英舟侧板(1)，其特征在于，两个所述石英舟侧板(1)呈对称设置，两个石英舟侧板(1)之间一体式设置有四个第一支撑柱(2)，第一支撑柱(2)的圆周外壁均开设有均匀分布的第一舟槽(3)，所述第一支撑柱(2)呈圆周分布；所述石英舟侧板(1)呈等腰梯形结构，所述石英舟侧板(1)一侧外壁开设有滑槽(7)，滑槽(7)呈螺旋状结构，且两个滑槽(7)内部滑动连接有同一个提拉杆(5)，滑槽(7)的一端位于石英舟侧板(1)的中线上。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述提拉杆(5)中部一体式设置有两个对称的限位片(4)。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述石英舟侧板(1)底部两侧外壁一体式设置有支撑脚(6)。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述第一支撑柱(2)分别设置于石英舟侧板(1)四个角的位置，石英舟侧板(1)底角的角度控制在95～150°。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述石英舟侧板(1)替换为半圆形结构，所述第一支撑柱(2)的数量为两个，且第一支撑柱(2)一体式设置于石英舟侧板(1)的两端，两个石英舟侧板(1)以及两个第一支撑柱(2)之间一体式设置有同一个弧形底板(8)，弧形底板(8)呈与石英舟侧板(1)适配的弧面结构，所述弧形底板(8)顶部外壁一体式设置有第二支撑柱(10)，第二支撑柱(10)上开设有第二舟槽(9)，第二舟槽(9)与第一舟槽(3)相适配。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述弧形底板(8)中心位置开设有开口(11)，两个所述第二舟槽(9)位于开口(11)两侧。

7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述弧形底板(8)一侧外壁开设有均匀分布的第三舟槽(12)，第三舟槽(12)与第一舟槽(3)相适配。

8.根据权利要求7所述的一种化学气相沉积用石英舟，其特征在于，所述支撑脚(6)底端侧壁一体式设置有脚罩(13)，脚罩(13)呈斗型结构。