[实用新型]一种半导体设备用测试机构

权利要求书

1.一种半导体设备用测试机构，包括底座（1）、立柱（3）、顶板（6）、放置台（15）和万用表（16），其特征在于：所述底座（1）顶部通过安装槽安装有立柱（3）且立柱（3）顶部焊接有顶板（6），所述顶板（6）底部通过螺栓安装有电动位移滑台（7）且电动位移滑台（7）的位移端底部连接有伺服电缸（8），所述伺服电缸（8）的动力输出端连接有固定框板（9），所述固定框板（9）内顶部通过固定座安装有转动电机（10），所述转动电机（10）的动力输出端贯穿固定框板（9）且底部连接有机械手本体（11），所述立柱（3）一端焊接有导轨（12），所述导轨（12）内套设有导块（26），所述立柱（3）顶端一侧通过紧固螺钉（21）连接有导管（20）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述放置台（15）位于机械手本体（11）下端，所述放置台（15）端部一侧连接有转轴（24），所述导块（26）一侧通过预留孔安装有轴套（22）且转轴（24）位于轴套（22）内，所述轴套（22）一端通过螺孔安装有锁紧螺钉（23），所述转轴（24）一端和底部均开设有与锁紧螺钉（23）对应的螺纹孔（25）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述导轨（12）一侧开设有预留孔（13），所述预留孔（13）内设置有锁紧螺栓（14），所述导块（26）端部一侧开设有与锁紧螺栓（14）对应的螺纹槽，所述预留孔（13）的数量具体设置为多组且沿导轨（12）的高度方向呈均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述放置台（15）顶部两端均焊接有固定块（17），所述固定块（17）顶部通过柔性金属管（18）连接有测试电极（19），所述测试电极（19）的电力输出端与万用表（16）的电力输入端通过导线构成电连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述底座（1）顶部两端均开设有安装孔（2），所述底座（1）与立柱（3）连接拐角处焊接有加强板（4）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述立柱（3）一端通过连接杆连接有PLC控制器（5），所述PLC控制器（5）的电力输出端与电动位移滑台（7）、伺服电缸（8）、转动电机（10）和机械手本体（11）的电力输入端通过导线构成电连接。