[实用新型]一种半导体设备用测试机构

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备用测试机构，包括底座、立柱、顶板、放置台和万用表，所述底座顶部通过安装槽安装有立柱且立柱顶部焊接有顶板，所述顶板底部通过螺栓安装有电动位移滑台且电动位移滑台的位移端底部连接有伺服电缸，所述伺服电缸的动力输出端连接有固定框板，所述固定框板内顶部通过固定座安装有转动电机，所述转动电机的动力输出端贯穿固定框板且底部连接有机械手本体，所述立柱一端焊接有导轨。该新型能方便带动机械手水平竖直移动和转动，从而对半导体芯片进行上下料，测试用的平台能方便在不使用时进行收合，具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构，适合广泛推广使用。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体设备用测试机构。

背景技术

在半导体生产领域中，为了方便对半导体设备中的半导体芯片进行测试，所以测试机构是十分必要的。

以往的测试机构存在以下缺点：1、不能方便带动机械手水平竖直移动和转动，从而对半导体芯片进行上下料；2、测试用的平台不能方便在不使用时进行收合；3、不具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构。为此，我们提出一种半导体设备用测试机构。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种半导体设备用测试机构，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种半导体设备用测试机构，包括底座、立柱、顶板、放置台和万用表，所述底座顶部通过安装槽安装有立柱且立柱顶部焊接有顶板，所述顶板底部通过螺栓安装有电动位移滑台且电动位移滑台的位移端底部连接有伺服电缸，所述伺服电缸的动力输出端连接有固定框板，所述固定框板内顶部通过固定座安装有转动电机，所述转动电机的动力输出端贯穿固定框板且底部连接有机械手本体，所述立柱一端焊接有导轨，所述导轨内套设有导块，所述立柱顶端一侧通过紧固螺钉连接有导管。

进一步地，所述放置台位于机械手本体下端，所述放置台端部一侧连接有转轴，所述导块一侧通过预留孔安装有轴套且转轴位于轴套内，所述轴套一端通过螺孔安装有锁紧螺钉，所述转轴一端和底部均开设有与锁紧螺钉对应的螺纹孔。

进一步地，所述导轨一侧开设有预留孔，所述预留孔内设置有锁紧螺栓，所述导块端部一侧开设有与锁紧螺栓对应的螺纹槽，所述预留孔的数量具体设置为多组且沿导轨的高度方向呈均匀分布。

进一步地，所述放置台顶部两端均焊接有固定块，所述固定块顶部通过柔性金属管连接有测试电极，所述测试电极的电力输出端与万用表的电力输入端通过导线构成电连接。

进一步地，所述底座顶部两端均开设有安装孔，所述底座与立柱连接拐角处焊接有加强板。

进一步地，所述立柱一端通过连接杆连接有PLC控制器，所述PLC控制器的电力输出端与电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体的电力输入端通过导线构成电连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型一种半导体设备用测试机构，电动位移滑台、伺服电缸、固定框板和机械手本体均连接外部电源进行供电，人员通过控制PLC控制器，方便对电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体进行控制，利用电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体的共同作用，可以带动机械手水平竖直移动和转动，从而可以对半导体芯片进行上下料。