[实用新型]一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构有效
| 申请号： | 202120856138.7 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN214898342U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 沈双宇;涂辉 | 申请（专利权）人： | 谷微半导体科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冲洗 甩干机 密封 机构 | ||
1.一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，包括基板(1)、门板(2)、旋转组件(3)、密封组件(4)；所述基板(1)和所述门板(2)通过所述旋转组件(3)活动连接；所述密封组件(4)和所述门板(2)固定连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述密封组件(4)包括安装块(401)、旋转快插接头(402)、密封圈(403)，所述安装块和所述门板(2)固定连接，所述旋转快插接头(402)和所述安装块(401)固定连接，所述安装块(401)内部设置有通气孔道(4011)，所述通气孔道(4011)连接所述旋转快插接头(402)和所述密封圈(403)。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述旋转组件(3)包括门轴安装座(301)和门轴(302)，所述门轴(302)的两端分别插入所述门轴安装座(301)和所述门板(2)，所述门轴(302)分别和所述门轴安装座(301)和所述门板(2)转动连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述门轴(302)的轴心和所述旋转快插接头(402)的旋转轴心重合。
5.根据权利要求3所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述门轴安装座(301)和所述基板(1)固定连接。
6.根据权利要求3所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述门轴(302)设置为空心结构；所述门轴(302)的周围设置有门板垫圈(303)，所述门板垫圈(303)设置在所述门轴安装座(301)和所述门板(2)之间。
7.根据权利要求2所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述门板(2)内部设置有密封槽(201)，所述密封槽(201)用于安放所述密封圈(403)。
8.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，还包括开关组件(5)，所述开关组件(5)包括微动开关(501)、卡环(502)、微动开关安装板(503)。
9.根据权利要求8所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述微动开关安装板(503)设置在所述基板(1)上，所述微动开关(501)和所述微动开关安装板(503)固定连接。
10.根据权利要求8所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述卡环(502)设置在所述门板(2)上，所述微动开关(501)和所述卡环(502)配合控制所述门板(2)和所述基板(1)的开合。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司，未经谷微半导体科技（江苏）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120856138.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车链条生产用打孔装置
- 下一篇：一种摩托车链条张紧器
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
