[实用新型]一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构

说明书

本实用新型属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。本实用新型提供了一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，包括基板、门板、旋转组件、密封组件；所述基板和所述门板通过所述旋转组件活动连接；所述密封组件和所述门板固定连接。本实用新型提供的一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，采用全新的进气方式对晶圆冲洗甩干机进行密封，改变了目前广泛采用的从门轴进气的方式，而是将SMC的标准旋转快插接头安装到门上，不影响转动的同时保证通入密封圈的压缩空气正常流通。本实用新型采用的全新进气结构，减少零件数量，降低加工难度，遇到故障可以直接采购标准件降低维修难度，极大降低了晶圆冲洗甩干机的制造难度和制造成本。

技术领域

本实用新型属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的电子元器件产品。在集成电路加工工艺中，对晶圆进行清洗是其中比较重要的一个步骤流程，这是因为在化学工艺制程之后会有一些残留或微尘落在晶圆表面，如果此种尘粒缺陷(P/D，ParticleDefect)不及时去除，会严重影响良率。湿法清洗工艺是晶圆较为常用的清洗工艺，该清洗工艺完成后需要对晶圆进行干燥，晶圆冲洗甩干机用于将潮湿的晶圆通过旋转及干燥使晶圆表面干燥。为了提高干燥洁净效果，业内采用往密封的甩干机筒体内通入洁净氮气，使设备具有强制干燥功能，晶圆在甩干的同时，附加氮气干燥作用，彻底去除晶圆表面的尘粒，让晶圆表面干燥。

因此，甩干机筒体的密封性显得尤为重要，直接影响到晶圆的干燥效果和最终的产品质量。现有的晶圆冲洗甩干设备的门处有个密封圈，关闭门后要通入压缩空气将密封条涨大锁住门。保证高速清洗时的安全性。压缩空气现在的进入方式是从门的固定块经过门轴进入到门板，再由门板进入到密封圈。这个设计结构比较复杂，经过转动的门轴，既要密封不漏气还要让门能够转动。技术难度比较高。成本比较大，维修保养比较困难。一旦门轴处漏气，密封压力低于安全密封压力。容易产生事故。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，包括基板、门板、旋转组件、密封组件；所述基板和所述门板通过所述旋转组件活动连接；所述密封组件和所述门板固定连接。

作为一种优选的技术方案，所述密封组件包括安装块、旋转快插接头、密封圈，所述安装块和所述门板固定连接，所述旋转快插接头和所述安装块固定连接，所述安装块内部设置有通气孔道，所述通气孔道连接所述旋转快插接头和所述密封圈。优选的，所述旋转开插接头选用为SMC的标准旋转快插接头。

作为一种优选的技术方案，所述旋转组件包括门轴安装座和门轴，所述门轴的两端分别插入所述门轴安装座和所述门板，所述门轴分别和所述门轴安装座和所述门板转动连接。

作为一种优选的技术方案，所述门轴的轴心和所述旋转快插接头的旋转轴心重合。

作为一种优选的技术方案，所述门轴安装座和所述基板固定连接。

作为一种优选的技术方案，所述门轴设置为空心结构；所述门轴的周围设置有门板垫圈，所述门板垫圈设置在所述门轴安装座和所述门板之间。

作为一种优选的技术方案，所述门板内部设置有密封槽，所述密封槽用于安放所述密封圈。

作为一种优选的技术方案，还包括开关组件，所述开关组件包括微动开关、卡环、微动开关安装板。

作为一种优选的技术方案，所述微动开关安装板设置在所述基板上，所述微动开关和所述微动开关安装板固定连接。

作为一种优选的技术方案，所述卡环设置在所述门板上，所述微动开关和所述卡环配合控制所述门板和所述基板的开合。

有益效果：