[实用新型]硅片导正装置及硅片检测分选设备

权利要求书

1.一种硅片导正装置，其特征在于，所述硅片导正装置包括：第一导正机构、第二导正机构以及驱动机构；

所述第一、第二导正机构对称设置，任一导正机构包括：底座、设置于所述底座上的若干导轮，所述若干导轮沿输送方向并排地设置于所述底座上，所述第一、第二导正机构的导轮之间形成导正空间；

所述驱动机构包括：旋转驱动单元、双向螺杆以及滑块，所述旋转驱动单元与所述双向螺杆传动连接，所述双向螺杆具有间隔且对称设置的第一螺纹和第二螺纹，所述滑块分别装配于所述第一、第二螺纹上，所述第一导正机构的底座与所述第一螺纹上的滑块相连接，所述第二导正机构的底座与所述第二螺纹上的滑块相连接，并通过所述滑块相向或者相背运动。

2.根据权利要求1所述的硅片导正装置，其特征在于，任一导正机构还包括：导向板，所述导向板安装于所在导正机构各导轮的下游位置，所述第一、第二导正机构的导向板对称设置，且所述第一、第二导正机构的导向板之间的间距沿输送方向逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的硅片导正装置，其特征在于，所述第一、第二导正机构相向运动至极限位置时，所述第一、第二导正机构的导轮之间的间距略大于硅片的宽度。

4.根据权利要求1所述的硅片导正装置，其特征在于，所述旋转驱动单元为电机。

5.根据权利要求1所述的硅片导正装置，其特征在于，所述双向螺杆的两端分别通过轴承进行枢转支撑。

6.根据权利要求1所述的硅片导正装置，其特征在于，所述硅片导正装置还包括基板和滑轨，所述第一、第二导正机构由所述基板进行支撑，且沿设置于所述基板一侧的所述滑轨进行相向或者相背滑动。

7.根据权利要求6所述的硅片导正装置，其特征在于，所述第一、第二导正机构的底座上开设有适于所述基板贯穿的开槽。

8.根据权利要求7所述的硅片导正装置，其特征在于，所述第一、第二导正机构的底座包括：立板、底板以及顶板，所述立板的下端与所述底板相连接，其上端与所述顶板相连接，所述若干导轮设置于所述顶板，所述开槽设置于所述立板的下部，所述底板位于所述基板下方，并与相应的滑块相连接以及沿所述滑轨进行滑动。

9.一种硅片检测分选设备，其特征在于，所述硅片检测分选设备包括如权利要求1至8任一项所述的硅片导正装置。