[实用新型]一种三轴陀螺仪

权利要求书

1.一种三轴陀螺仪，其特征在于，其包括：

第一驱动框架，其位于上侧，其能够沿Y轴进行上下方向的谐振运动；

第二驱动框架，其位于下侧，其与第一驱动框架平行且间隔预定距离，其能够沿Y轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动；

连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间的X/Y陀螺结构；

Z陀螺结构，其位于所述X/Y陀螺结构的左右两侧，且所述Z陀螺结构与所述X/Y陀螺结构连接；

其中，所述X/Y陀螺结构由所述第一驱动框架和第二驱动框架进行驱动，所述Z陀螺结构由所述X/Y陀螺结构进行驱动。

2.根据权利要求1所述的三轴陀螺仪，其特征在于，其还包括：

第一驱动框架支撑梁锚点；

第一驱动框架支撑梁，其连接于所述第一驱动框架支撑梁锚点和第一驱动框架之间；

第二驱动框架支撑梁锚点；

第二驱动框架支撑梁，其连接于所述第二驱动框架支撑梁锚点和第二驱动框架之间；

设置于第一驱动框架两侧的第一驱动电极；

设置于第一驱动框架两侧的第一驱动反馈电极；

设置于第二驱动框架两侧的第二驱动电极；

设置于第二驱动框架两侧的第二驱动反馈电极；

通过在第一驱动电极上施加驱动电压驱动第一驱动框架沿Y轴进行谐振运动；

通过在第二驱动电极上施加驱动电压驱动第二驱动框架沿Y轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动。

3.根据权利要求2所述的三轴陀螺仪，其特征在于，

第一驱动电极、第一驱动反馈电极、第二驱动电极和第二驱动反馈电极固定设置于基底上，第一驱动框架通过第一驱动框架支撑梁与第一驱动框架支撑梁锚点连接，第一驱动框架和第一驱动框架支撑梁悬置于所述基底上方，第二驱动框架通过第二驱动框架支撑梁与第二驱动框架支撑梁锚点连接，第二驱动框架和第二驱动框架支撑梁悬置于所述基底上方；

所述第一驱动框架和第二驱动框架平行于X轴放置；

所述X轴和Y轴相互垂直；

所述X轴沿左右方向，所述Y轴沿上下方向；

所述第一驱动框架两侧为所述第一驱动框架的上侧和下侧；

所述第二驱动框架两侧为所述第二驱动框架的上侧和下侧。

4.根据权利要求1所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述X/Y陀螺结构包括：

第一X/Y驱动耦合梁和第二X/Y驱动耦合梁；

第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，分别设置于所述X/Y陀螺结构的中心点A的上下左右四个位置，第一质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第二质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第一质量块通过第一X/Y驱动耦合梁与第一驱动框架相连，第二质量块通过第二X/Y驱动耦合梁与第二驱动框架相连；

质量块锚点，其位于所述X/Y陀螺结构的四个质量块的外侧；

质量块支撑梁，其位于所述X/Y陀螺结构的四个质量块的外侧，且所述X/Y陀螺结构的每个质量块通过其外侧的质量块支撑梁与其外侧的质量块锚点相连；

四个斜梁，其分别位于所述X/Y陀螺结构中每相邻的两个质量块之间，所述X/Y陀螺结构中每相邻的两个质量块通过位于两者之间的斜梁相连；

其中，在第一驱动框架沿Y轴进行谐振运动，第二驱动框架沿Y轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动时，第一驱动框架通过第一X/Y驱动耦合梁带动第一质量块沿Y轴进行谐振运动，第二驱动框架通过第二X/Y驱动耦合梁带动第二质量块沿Y轴进行与第一质量块反向的谐振运动，第一质量块和第二质量块通过相应的斜梁进而带动第三质量块沿X轴进行谐振运动，通过相应的斜梁进而带动第四质量块沿X轴进行与第三质量块反向的谐振运动，

X轴和Y轴相互垂直并且定义了所述X/Y陀螺结构所在的平面，Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面。