[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用密封机构有效
| 申请号： | 202121145367.4 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN216144141U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12;F26B23/06;F26B5/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双腔晶圆甩干机用 密封 机构 | ||
1.一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体(1)和密封门(2)，其特征在于：所述机体(1)的表面一侧对称通过合页铰接有密封门(2)，所述密封门(2)的一侧对应两端均开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)内通过轴承座安装有双向丝杆(5)，所述双向丝杆(5)中间设有DD马达(4)，所述双向丝杆(5)的两端均滑动套设有滑块(6)，所述滑块(6)表面通过固定螺栓(10)安装有连接柱(7)，所述连接柱(7)一端通过连接块(11)与密封板(12)连接，所述密封板(12)内设有若干个加热丝(15)。
2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封门(2)上位于安装槽(3)一侧固定有滑杆(9)，所述连接柱(7)另一端固定有套环(8)，且套环(8)滑动套设在滑杆(9)上。
3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封板(12)一侧一端安装有卡块(14)，所述密封板(12)一侧另一端开设有与卡块(14)相配合的卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封板(12)表面开设有若干个导热孔(13)。
5.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封板(12)内部设有定位杆(16)，所述连接块(11)一端伸入到密封板(12)内且连接块(11)上开设有定位槽(17)，所述定位槽(17)内通过压缩弹簧(19)固定有推板(18)，所述定位杆(16)一端伸入到定位槽(17)内与推板(18)抵紧。
6.根据权利要求5所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封板(12)内壁对称安装有锁紧筒(21)，所述密封板(12)上对称安装有锁紧销(20)，所述锁紧销(20)一端伸入到密封板(12)内且穿过连接块(11)与锁紧筒(21)连接，所述定位杆(16)两端均开设有与锁紧销(20)相配合的销孔。
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