[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用密封机构

说明书

本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体和密封门，所述机体的表面一侧对称通过合页铰接有密封门，所述密封门的一侧对应两端均开设有安装槽，所述安装槽内通过轴承座安装有双向丝杆，所述双向丝杆中间设有DD马达，所述双向丝杆的两端均滑动套设有滑块，所述滑块表面通过固定螺栓安装有连接柱，所述连接柱一端通过连接块与密封板连接，所述密封板内设有若干个加热丝，本实用新型，防止水滴从密封门边缘处渗出，能对密封板表面的水滴进行烘干处理，方便使用。

技术领域

本实用新型涉及双腔晶圆甩干机密封技术领域，具体为一种双腔晶圆甩干机用密封机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在半导体晶圆级先进制造工艺湿法清洗甩干工艺中，一般通过双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，需要双腔晶圆甩干机腔室进行密封，现有技术一般通过密封门进行密封，脱水时水滴容易从密封门边缘处渗出，通过水滴容易沾附在密封门上，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用密封机构是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用密封机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体和密封门，所述机体的表面一侧对称通过合页铰接有密封门，所述密封门的一侧对应两端均开设有安装槽，所述安装槽内通过轴承座安装有双向丝杆，所述双向丝杆中间设有DD马达，所述双向丝杆的两端均滑动套设有滑块，所述滑块表面通过固定螺栓安装有连接柱，所述连接柱一端通过连接块与密封板连接，所述密封板内设有若干个加热丝，通过DD马达带动双向丝杆转动，使得两滑块带动两密封板相互靠近，对甩干腔室进行阻挡密封，防止水滴从密封门边缘处渗出，密封板内的加热丝工作，热量传递到密封板表面，对密封板表面的水滴进行烘干处理，方便使用。

在进一步的实施例中，所述密封门上位于安装槽一侧固定有滑杆，所述连接柱另一端固定有套环，且套环滑动套设在滑杆上，通过连接柱移动带动套环在滑杆上滑动，进而对连接柱进行限位，保证连接柱移动稳定。

在进一步的实施例中，所述密封板一侧一端安装有卡块，所述密封板一侧另一端开设有与卡块相配合的卡槽，通过卡块与卡槽相配合，使得两密封板卡紧稳定。

在进一步的实施例中，所述密封板表面开设有若干个导热孔，通过导热孔方便将加热丝工作产生的热量导向密封板表面，便于将水滴烘干。

在进一步的实施例中，所述密封板内部设有定位杆，所述连接块一端伸入到密封板内且连接块上开设有定位槽，所述定位槽内通过压缩弹簧固定有推板，所述定位杆一端伸入到定位槽内与推板抵紧，通过将连接块一端伸入到密封板内并通过定位杆进行抵紧，抵紧时推板挤压压缩弹簧，使其压缩变形，保证抵紧稳定，方便密封板的安装固定。

在进一步的实施例中，所述密封板内壁对称安装有锁紧筒，所述密封板上对称安装有锁紧销，所述锁紧销一端伸入到密封板内且穿过连接块与锁紧筒连接，所述定位杆两端均开设有与锁紧销相配合的销孔，通过锁紧销与锁紧筒相配合，对连接块进行锁紧固定，保证连接块固定稳定。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.通过DD马达带动双向丝杆转动，使得两滑块带动两密封板对甩干腔室进行阻挡密封，防止水滴从密封门边缘处渗出，密封板内的加热丝工作，配合导热孔，将热量传递到密封板表面，对密封板表面的水滴进行烘干处理，方便使用；

2.通过将连接块一端伸入到密封板内并通过定位杆进行抵紧，抵紧时推板挤压压缩弹簧，使其压缩变形，保证抵紧稳定，方便密封板的安装固定，通过锁紧销与锁紧筒相配合，对连接块进行锁紧固定，保证连接块固定稳定。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的密封板安装结构示意图；