[实用新型]一种晶圆甩干机用喷吹装置有效
| 申请号： | 202121161339.1 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN216144062U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18;F26B21/00 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆甩干机用喷吹 装置 | ||
1.一种晶圆甩干机用喷吹装置，包括机箱(1)、甩干筒体(2)和安装架(3)，其特征在于：所述安装架(3)的内部设有定位板(4)，且定位板(4)与安装架(3)之间形成滑道(9)，所述定位板(4)的中间安装有旋转电机(6)，所述旋转电机(6)的输出端与连接板(7)连接，所述连接板(7)的一端安装有滑块(8)，且滑块(8)位于滑道(9)内，所述滑道(9)上设有安装板(10)，所述安装板(10)内设有加热管(11)，所述安装板(10)顶部安装有鼓风仓(12)，所述鼓风仓(12)内安装有鼓风机(13)，所述安装板(10)底部均匀安装有喷头(14)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机用喷吹装置，其特征在于：所述滑块(8)两端均通过螺栓安装有卡紧块(18)，所述安装板(10)两端均开设有卡紧槽(19)，所述卡紧槽(19)一侧对称设有固定槽(20)，所述卡紧块(18)一端位于卡紧槽(19)内，所述卡紧块(18)上对称安装有固定销(21)，所述固定销(21)一端穿过卡紧块(18)且固定在固定槽(20)内。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆甩干机用喷吹装置，其特征在于：所述固定销(21)上位于卡紧槽(19)内套设有压缩弹簧(22)，所述滑块(8)两端均安装有锁紧销(23)，所述锁紧销(23)贯穿卡紧块(18)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机用喷吹装置，其特征在于：所述定位板(4)上等角度通过螺栓安装有连接座(5)，所述连接座(5)一端通过卡座与旋转电机(6)安装固定。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机用喷吹装置，其特征在于：所述安装架(3)上等角度安装有稳固板，所述稳固板两端通过螺栓分别与安装架(3)和定位板(4)连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机用喷吹装置，其特征在于：所述安装板(10)一端安装有凸块(15)，所述凸块(15)底部安装有限位柱(16)，所述甩干筒体(2)一端开设有环形槽(17)，且限位柱(16)一端位于环形槽(17)内。
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