[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构

权利要求书

1.一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体(1)、安装架(2)和筒体(3)，其特征在于：所述机体(1)内部通过安装架(2)安装有筒体(3)，所述筒体(3)上设有水箱(4)，所述机体(1)外壁设有步进电机(9)，所述步进电机(9)的输出端伸入到筒体(3)内与螺纹喷水管(10)连接，所述螺纹喷水管(10)内设有输水管(8)，所述水箱(4)通过导水管(6)与输水管(8)一端连接，且导水管(6)上设有导水泵(5)，所述螺纹喷水管(10)两端均套设有清洁组件。

2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述螺纹喷水管(10)表面两端分别开设有旋向相反的螺纹，所述输水管(8)和螺纹喷水管(10)上均等间距开设有喷水孔(11)，所述导水管(6)与输水管(8)一端连接处与螺纹喷水管(10)一端之间设有密封环。

3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述清洁组件包括套设在螺纹喷水管(10)上的移动块(12)，所述移动块(12)上开设有环形安装槽(13)，所述环形安装槽(13)上安装有固定环(14)，所述固定环(14)内表面等角度安装有锯齿(19)，所述移动块(12)一端安装有驱动电机(15)，所述驱动电机(15)的输出端通过转轴(16)与驱动齿轮(18)连接，且驱动齿轮(18)与锯齿(19)相配合，所述固定环(14)上等角度安装有清洁刷(21)。

4.根据权利要求3所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述移动块(12)上位于环形安装槽(13)两侧均对称安装有限位杆(17)，所述固定环(14)上开设有限位槽(20)，且限位杆(17)一端位于限位槽(20)内。

5.根据权利要求3所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述固定环(14)上等角度开设有固定槽(22)，所述清洁刷(21)一端设有凸块，所述凸块外表面开设有与固定槽(22)内表面开设的内螺纹相配合的外螺纹。

6.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述筒体(3)内部中间固定有定位架(7)，所述螺纹喷水管(10)通过固定座安装在定位架(7)上。