[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构

说明书

本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体、安装架和筒体，所述机体内部通过安装架安装有筒体，所述筒体上设有水箱，所述机体外壁设有步进电机，所述步进电机的输出端伸入到筒体内与螺纹喷水管连接，所述螺纹喷水管内设有输水管，所述水箱通过导水管与输水管一端连接，且导水管上设有导水泵，所述螺纹喷水管两端均套设有清洁组件，本实用新型，水箱内的清水通过导水泵与导水管相配合，输送至输水管内，并通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。

技术领域

本实用新型涉及双腔晶圆甩干机洗刷技术领域，具体为一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，现有的双腔晶圆甩干机洗刷机构对晶圆的洗刷不方便，洗刷效果不好，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体、安装架和筒体，所述机体内部通过安装架安装有筒体，所述筒体上设有水箱，所述机体外壁设有步进电机，所述步进电机的输出端伸入到筒体内与螺纹喷水管连接，所述螺纹喷水管内设有输水管，所述水箱通过导水管与输水管一端连接，且导水管上设有导水泵，所述螺纹喷水管两端均套设有清洁组件，水箱内的清水通过导水泵与导水管相配合，输送至输水管内，并通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。

在进一步的实施例中，所述螺纹喷水管表面两端分别开设有旋向相反的螺纹，所述输水管和螺纹喷水管上均等间距开设有喷水孔，所述导水管与输水管一端连接处与螺纹喷水管一端之间设有密封环，旋向相反螺纹的设置使得螺纹喷水管转动时带动两清洁组件相互靠近或远离，方便对筒体内晶圆的清洁，喷水孔的设置方便喷水清洗，密封环的设置保证密封效果。

在进一步的实施例中，所述清洁组件包括套设在螺纹喷水管上的移动块，所述移动块上开设有环形安装槽，所述环形安装槽上安装有固定环，所述固定环内表面等角度安装有锯齿，所述移动块一端安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过转轴与驱动齿轮连接，且驱动齿轮与锯齿相配合，所述固定环上等角度安装有清洁刷，驱动电机通过转轴带动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮与锯齿相配合，使得固定环转动，带动清洁刷对晶圆进行清洁。

在进一步的实施例中，所述移动块上位于环形安装槽两侧均对称安装有限位杆，所述固定环上开设有限位槽，且限位杆一端位于限位槽内，通过固定环转动时使得限位杆在限位槽内转动，对固定环起到限位作用，保证固定环转动稳定。

在进一步的实施例中，所述固定环上等角度开设有固定槽，所述清洁刷一端设有凸块，所述凸块外表面开设有与固定槽内表面开设的内螺纹相配合的外螺纹，通过内螺纹与外螺纹相配合，方便将清洁刷一端的凸块螺纹连接在固定环上的固定槽内，方便清洁刷的安装拆卸。

在进一步的实施例中，所述筒体内部中间固定有定位架，所述螺纹喷水管通过固定座安装在定位架上，通过定位架对螺纹喷水管固定稳定。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.水箱内的清水通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的移动块相互靠近或远离，驱动电机通过转轴带动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮与锯齿相配合，使得固定环转动，带动清洁刷对晶圆进行清洁，对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好；

2.固定环转动时使得限位杆在限位槽内转动，对固定环起到限位作用，保证固定环转动稳定；定位架对螺纹喷水管固定稳定。

附图说明