[实用新型]一种晶体测径仪有效
申请号: | 202121192863.5 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN214666546U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 吴凌锋 | 申请(专利权)人: | 浙江晶泰半导体有限公司 |
主分类号: | G01B5/08 | 分类号: | G01B5/08 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 陈包杰 |
地址: | 325600 浙江省温州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 测径仪 | ||
本实用新型涉及一种晶体测径仪。本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作简单、精度高、成本低的晶体测径仪。本实用新型采用的技术方案:包括测径仪座体、测径导轨座组件、支撑架组件、瞄准镜和数显尺组件,所述测径导轨座组件包括导轨座、导轨和滑块;所述支撑架组件包括支撑板、第一支撑架和第二支撑架、第一套块组件、第二套块组件,所述瞄准镜设在所述第一套块组件和所述第二套块组件之间。本实用新型晶体测径仪的优点在于:携带方便,使用操作简单,视度可调节,能实现连续调焦,工作距离长,测量范围广,精度高,成本低廉。
技术领域
本实用新型涉及一种晶体测径仪。
背景技术
目前,单晶炉内转动的单晶硅晶体直径的测量采用的是图像技术,这种测量方法步骤繁琐、程序复杂、精度不高、成本较高,因此需要研发一款方便单晶炉内晶体生长直径测量的仪器 ,用以提高精度、降低成本。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作简单、精度高、成本低的晶体测径仪。
本实用新型晶体测径仪采用的技术方案: 其特征在于包括测径仪座体、设在所述测径仪座体上的测径导轨座组件、设在所述测径导轨座组件上的支撑架组件、设在所述支撑架组件上的瞄准镜和数显尺组件,所述测径导轨座组件包括导轨座、设在所述导轨座上的导轨和在所述导轨上滑动的滑块;
所述支撑架组件包括设在所述滑块上的支撑板、设在所述支撑板上的第一支撑架和第二支撑架、设在所述第一支撑架上的第一套块组件、设在所述第二支撑架上的第二套块组件,所述瞄准镜设在所述第一套块组件和所述第二套块组件之间;
所述数显尺组件包括刻度尺杆、设在所述刻度尺杆上的数显尺头、设在所述数显尺头上的数显定位头、设在所述刻度尺杆两端的尺杆定位组件和设在所述数显定位头两端的定位头限位块。
所述第一支撑架和所述第二支撑架均设有第一安装孔、与所述第一安装孔垂直设置的第二安装孔,所述第一套块组件和所述第二套块组件均包括套块、穿过所述第一安装孔且与所述套块连接的角度调节块、与所述第二安装孔相对应的垂直定位螺钉,所述套块内设有用于所述瞄准镜安装的半圆弧口。
所述第一支撑架和所述第二支撑架均包括既与所述第一安装孔垂直设置又与所述第二安装孔垂直设置的第三安装孔,所述第三安装孔上设有用于所述第一套块组件和所述第二套块组件固定的水平定位旋钮。
所述尺杆定位组件包括尺杆定位块和盖设在所述尺杆定位块上的尺杆定位盖板,所述尺杆定位块上设有用于放置所述数显尺组件的尺杆定位承接槽,所述尺杆定位承接槽内设有用于所述数显尺组件固定的数显尺固定螺丝孔。
本实用新型晶体测径仪的优点在于:携带方便,使用操作简单,视度可调节,能实现连续调焦,工作距离长,测量范围广,精度高,成本低廉。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型晶体测径仪的结构示意图;
图2是本实用新型测径导轨座组件的结构示意图;
图3是本实用新型支撑架组件的结构示意图;
图4是本实用新型数显尺组件的结构示意图;
图5是本实用新型第一套块组件的结构示意图;
图6是本实用新型第一支撑架的结构示意图;
图7是本实用新型尺杆定位组件的结构示意图。
具体实施方式
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