[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用移动门

权利要求书

1.一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体(1)、移动门主体(2)和观察窗(3)，其特征在于：所述甩干机主体(1)上对称设有移动门主体(2)，所述移动门主体(2)上设有观察窗(3)，所述移动门主体(2)之间通过转杆(4)连接，所述转杆(4)中间固定套设有转动轮(5)，所述甩干机主体(1)外壁一侧中间安装有固定架(6)，所述固定架(6)顶部安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出端伸入到固定架(6)内与驱动轴(8)连接，所述驱动轴(8)上固定套设有主动轮(9)，所述甩干机主体(1)上位于转动轮(5)一侧通过固定轴(10)安装有从动轮(11)，且从动轮(11)与转动轮(5)和主动轮(9)相互啮合，所述移动门主体(2)的背面位于观察窗(3)一侧设有螺杆(13)，所述螺杆(13)一端与步进电机(12)的输出端连接，所述螺杆(13)另一端滑动套设有滑块(14)，所述滑块(14)通过连接块(15)与擦板(16)连接。

2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述连接块(15)两端分别开设有与滑块(14)和擦板(16)相配合的连接槽，所述连接块(15)两端均贯穿有锁紧销(18)，且滑块(14)和擦板(16)上开设有与锁紧销(18)相配合的销孔。

3.根据权利要求2所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述滑块(14)上对称安装有夹块(17)，所述夹块(17)的内侧与连接块(15)表面贴合，所述锁紧销(18)贯穿两夹块(17)。

4.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述移动门主体(2)的背面位于观察窗(3)另一侧安装有安装架(19)，所述安装架(19)内安装有旋转电机(20)，所述旋转电机(20)的输出端与扇叶(21)连接，所述安装架(19)一侧设有导流仓(22)，所述导流仓(22)上开设有若干个排风孔(24)。

5.根据权利要求4所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述导流仓(22)内还安装有加热管(23)，所述加热管(23)两端均开设有卡槽，所述导流仓(22)两端均安装有卡销，且卡槽一端固定在卡槽内。

6.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述移动门主体(2)的背面一端开设有凹槽，所述凹槽内设有齿条，所述滑块(14)一端通过转轴安装有限位齿轮，且限位齿轮与齿条相啮合。