[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用移动门

说明书

本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体、移动门主体和观察窗，所述甩干机主体上对称设有移动门主体，所述移动门主体上设有观察窗，所述移动门主体之间通过转杆连接，所述转杆中间固定套设有转动轮，所述甩干机主体外壁一侧中间安装有固定架，所述固定架顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端伸入到固定架内与驱动轴连接，所述驱动轴上固定套设有主动轮，所述甩干机主体上位于转动轮一侧通过固定轴安装有从动轮，且从动轮与转动轮和主动轮相互啮合，所述移动门主体的背面位于观察窗一侧设有螺杆，本实用新型，移动门打开方便，方便晶圆的放置和取出，能对移动门上的移动窗背面的残存水滴进行清理，方便观察。

技术领域

本实用新型涉及甩干机移动门技术领域，具体为一种双腔晶圆甩干机用移动门。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在半导体晶圆级先进制造工艺湿法清洗甩干工艺中，一般通过双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，需要通过移动门对甩干机内的甩干筒甩干作业的水进行防护，现有的双腔晶圆甩干机中的移动门打开或者关闭时需要操作人员手动将上下腔室的移动门打开，不方便晶圆的放置和取出，同时不能对移动门上的移动窗背面的残存水滴进行清理，影响观察，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用移动门是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用移动门，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体、移动门主体和观察窗，所述甩干机主体上对称设有移动门主体，所述移动门主体上设有观察窗，所述移动门主体之间通过转杆连接，所述转杆中间固定套设有转动轮，所述甩干机主体外壁一侧中间安装有固定架，所述固定架顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端伸入到固定架内与驱动轴连接，所述驱动轴上固定套设有主动轮，所述甩干机主体上位于转动轮一侧通过固定轴安装有从动轮，且从动轮与转动轮和主动轮相互啮合，所述移动门主体的背面位于观察窗一侧设有螺杆，所述螺杆一端与步进电机的输出端连接，所述螺杆另一端滑动套设有滑块，所述滑块通过连接块与擦板连接，通过驱动电机带动驱动轴转动，使得主动轮带动从动轮转动，进而通过转动轮带动转杆转动，对移动门主体的开合角度进行调整，进而方便晶圆的放置和取出，通过步进电机带动螺杆转动，使得滑块通过连接块带动擦板上下移动，方便将观察窗背面的残存水滴进行擦拭清理，方便观察。

在进一步的实施例中，所述连接块两端分别开设有与滑块和擦板相配合的连接槽，所述连接块两端均贯穿有锁紧销，且滑块和擦板上开设有与锁紧销相配合的销孔，通过连接槽的设置方便连接块与滑块和擦板的安装固定，锁紧销与销孔相配合，保证固定稳定的同时方便连接块和擦板的拆卸。

在进一步的实施例中，所述滑块上对称安装有夹块，所述夹块的内侧与连接块表面贴合，所述锁紧销贯穿两夹块，通过夹块和锁紧销相配合，对连接块进行固定，保证固定稳定。

在进一步的实施例中，所述移动门主体的背面位于观察窗另一侧安装有安装架，所述安装架内安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端与扇叶连接，所述安装架一侧设有导流仓，所述导流仓上开设有若干个排风孔，通过旋转电机带动扇叶转动，进行吹风，通过导流仓的排风孔吹出，对观察窗背面进行风干，加快水滴的蒸发。

在进一步的实施例中，所述导流仓内还安装有加热管，所述加热管两端均开设有卡槽，所述导流仓两端均安装有卡销，且卡槽一端固定在卡槽内，通过加热管内的加热丝工作产生热量，与风作用形成热风，进一步加快水滴的蒸发，卡销与卡槽相配合，方便加热管的安装固定。

在进一步的实施例中，所述移动门主体的背面一端开设有凹槽，所述凹槽内设有齿条，所述滑块一端通过转轴安装有限位齿轮，且限位齿轮与齿条相啮合，通过滑块上下移动带动限位齿轮在齿条上滚动，使得滑块移动稳定。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：