[实用新型]一种移动式高频感应单晶炉

权利要求书

1.一种移动式高频感应单晶炉，包括单晶炉本体（1），其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部中心处固定连接有单晶炉副室（2），所述单晶炉本体（1）前侧设有观察框，所述单晶炉本体（1）外围固定连接有支架，所述支架底部固定连接有底板，所述底板底部固定连接有托板，所述托板底部固定连接有阻尼减震座（3），所述阻尼减震座（3）呈矩形排列分布，所述阻尼减震座（3）底部固定连接有U型缓冲槽（4），所述托板两侧与U型缓冲槽（4）内壁滑动连接，所述U型缓冲槽（4）外壁固定连接有牵引环。

2.根据权利要求1所述的一种移动式高频感应单晶炉，其特征在于：所述U型缓冲槽（4）底部四角处固定连接有轴架，轴架转动连接有万向轮（5）。

3.根据权利要求2所述的一种移动式高频感应单晶炉，其特征在于：所述万向轮（5）之间设有微型油缸（6），所述微型油缸（6）顶部与U型缓冲槽（4）底部固定连接，所述微型油缸（6）底部固定连接有垫板。

4.根据权利要求1所述的一种移动式高频感应单晶炉，其特征在于：所述支架内壁固定连接有升降框（7），所述升降框（7）顶部固定连接有伺服电机（8），所述伺服电机（8）输出端固定连接有丝杆（9），所述丝杆（9）外围螺纹连接有螺纹套（10），所述螺纹套（10）一侧与升降框（7）内壁滑动连接，所述螺纹套（10）另一侧通过连接杆固定连接有坩埚拖杆（11），所述坩埚拖杆（11）外表面涂覆有隔热膜。

5.根据权利要求4所述的一种移动式高频感应单晶炉，其特征在于：所述坩埚拖杆（11）末端位于单晶炉本体（1）内部，所述坩埚拖杆（11）末端固定连接有坩埚本体，所述坩埚本体两侧设有加热棒（12），所述加热棒（12）底部固定连接有石墨电极（13），所述加热棒（12）一侧设有保温壁，所述保温壁与单晶炉本体（1）内壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种移动式高频感应单晶炉，其特征在于：所述单晶炉本体（1）内部设有套筒（14），所述套筒（14）位于单晶炉本体（1）中心线处，所述套筒（14）轴心处与坩埚拖杆（11）固定连接，所述单晶炉本体（1）底部中心处固定连接有密封套（15），所述密封套（15）轴心处与坩埚拖杆（11）固定连接。