[实用新型]一种真空泵出口用的消音装置

说明书

本实用新型公开了一种真空泵出口用的消音装置，包括壳体、上封头、下封头、第一消音机构和第二消音机构；所述壳体为竖直设置的中空柱状体结构，且在其上下两端还分别贴合设有上封头和下封头，并密封整体成型；在所述壳体的内部从上至下还分别设有第二消音机构和第一消音机构，且气体从下封头进入壳体的内部，依次经第一消音机构、第二消音机构进行降噪处理后，再从上封头流出。本实用新型通过消音棉与扰流板的串联组合进行联合消音，从而提高了消音效果。

技术领域

本实用新型涉及一种消音器，具体涉及一种真空泵出口用的消音装置。

背景技术

在半导体行业及面板行业中，制成工艺应用大量真空，该行业中真空泵的特性为大流量、高真空，这就造成了真空泵出口噪音值高达110dB以上，严重污染了工作环境。这就需要将真空泵出口的噪音值降低至90dB以下，以改善恶劣工作环境，保证人身安全；同时不能产生超高背压导致真空泵负荷增大，还需要适应抽气不同介质条件。因此，以上问题亟需解决。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空泵出口用的消音装置，通过消音棉与扰流板的串联组合进行联合消音，从而提高了消音效果。

为解决上述技术问题，本实用新型采取如下技术方案：本实用新型的一种真空泵出口用的消音装置，其创新点在于：包括壳体、上封头、下封头、第一消音机构和第二消音机构；所述壳体为竖直设置的中空柱状体结构，且在其上下两端还分别贴合设有上封头和下封头，并密封整体成型；在所述壳体的内部从上至下还分别设有第二消音机构和第一消音机构，且气体从下封头进入壳体的内部，依次经第一消音机构、第二消音机构进行降噪处理后，再从上封头流出。

优选的，所述上封头和下封头的内表面均设有圆弧过渡面，且分别与所述壳体的内表面平滑过渡。

优选的，所述第一消音机构包括内丝网圈、外丝网圈、上端盖、下端盖和消音棉；所述内丝网圈和外丝网圈均为与所述壳体同轴心设置的圆柱体结构，且所述外丝网圈同轴心间隔套接在所述内丝网圈上；在所述外丝网圈和内丝网圈之间还同轴心套接设有消音棉，所述消音棉、内丝网圈以及外丝网圈的长度均相一致，且三者之间分别抵紧贴合在一起；在所述外丝网圈的上下两端还分别同轴心套接固定设有上端盖和下端盖，所述上端盖的下表面分别与所述消音棉以及内丝网圈的上端抵紧贴合，且所述下端盖的上表面分别与所述消音棉以及内丝网圈的下端抵紧贴合；在所述下端盖的下表面还同轴心贴合设有焊接座，所述焊接座为中空柱状体结构，且所述下端盖通过焊接座与所述下封头的内表面固定连接。

优选的，所述外丝网圈的外圆周面与所述壳体的内表面之间形成一空腔，且所述上端盖的上表面设于所述壳体的内部中间偏上位置处；气体依次经下封头、焊接座进入到内丝网圈的内部，通过消音棉进行一次降噪后，再经外丝网圈的外圆周面进入到空腔内。

优选的，在所述上端盖的上表面中间位置处还嵌入开设有一通孔，且所述通孔垂直贯穿所述上端盖的下表面，并与所述内丝网圈的内部连通；在所述下端盖与所述外丝网圈之间还同轴心水平贴合设有挡板，所述挡板为与所述外丝网圈相匹配的镂空状圆形结构，且分别与所述消音棉以及所述内丝网圈的下端抵紧贴合。

优选的，还包括保护装置，且所述保护装置包括伸缩杆、弹簧、第一弹簧盖、第二弹簧盖和垫片；在所述上端盖的通孔内还同轴心间隔套接设有伸缩杆，且所述伸缩杆的直径小于所述通孔的直径，并沿所述上端盖做竖直上下滑动；所述伸缩杆的上端竖直向上延伸出所述上端盖的上表面，且通过垫片与所述上端盖的上表面卡接，对伸缩杆的竖直向下运动进行限位；所述伸缩杆的下端朝所述内丝网圈的内部方向延伸，且在其上自上而下还同轴心依次间隔套接设有第一弹簧盖和第二弹簧盖，所述第一弹簧盖的外径大于所述通孔的直径，且其内径大于所述伸缩杆的直径，并与所述上端盖的下表面固定连接；所述第二弹簧盖与所述伸缩杆固定连接，且在所述第一弹簧盖和第二弹簧盖之间还设有弹簧，所述弹簧套接在所述伸缩杆上，且其两端分别与所述第一弹簧盖以及所述第二弹簧盖抵紧贴合，并对伸缩杆的竖直向上运动进行限位。