[实用新型]一种生产碳硅棒的退火炉

权利要求书

1.一种生产碳硅棒的退火炉，包括：

炉体；

气体循环通道，所述气体循环通道的两端均与炉体的炉腔连通；

气体循环泵，所述气体循环泵设置在气体循环通道上；

放置架，所述放置架包括固定板、由竖杆和斜撑杆组成的支撑架，其中：

所述固定板水平固定在炉腔的下表面上；

所述竖杆竖向固定在固定板上，所述斜撑杆固定在竖杆的侧壁上，且斜撑杆相对于竖杆斜向上设置；

沿所述竖杆的高度方向在其左、右两侧壁上各设一列间隔分布的斜撑杆；

沿所述固定板的长度方向设置有若干列间隔分布的所述支撑架。

2.根据权利要求1所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述竖杆为空心管，其侧壁上开设有若干个与竖杆管腔连通的通气孔。

3.根据权利要求1所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述放置架与炉体的炉门口正对，且炉门口为长方形。

4.根据权利要求1所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述斜撑杆与竖杆之间的夹角设置在20～40°之间。

5.根据权利要求1所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述气体循环通道的两端分别位于炉腔的左、右两侧壁上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述气体循环通道为石英管，其外壁上包覆有保温层。

7.根据权利要求1-5任一项所述的生产碳硅棒的退火炉，其特征在于，所述竖杆的左、右两侧壁上的两列斜撑杆交错分布，即在述竖杆的同一高度上只有一根斜撑杆。