[实用新型]一种生产碳硅棒的退火炉

说明书

本实用新型公开一种生产碳硅棒的退火炉，包括：炉体、气体循环通道、气体循环泵和放置架，其中：所述气体循环通道的两端均与炉体的炉腔连通，所述气体循环泵设置在气体循环通道上，以促使炉腔内的保护气体循环。所述放置架包括固定板、由竖杆和斜撑杆组成的支撑架，其中：所述固定板水平固定在炉腔的下表面上。所述竖杆竖向固定在固定板上，所述斜撑杆固定在竖杆的侧壁上，且斜撑杆相对于竖杆斜向上设置。沿着所述竖杆的高度方向在其左、右两侧壁上各设置一列间隔分布的斜撑杆，沿着所述固定板的长度方向设置有若干列间隔分布的所述支撑架。本实用新型的这种退火炉通过优化和改进现有的碳硅棒退火炉的炉腔内部结构，可以有效避免碳棒的接触。

技术领域

本实用新型涉及碳硅棒生产设备领域，尤其涉及生产碳硅棒的退火炉。

背景技术

硅碳棒电热元件是高纯度以碳化硅为主要原料，加入工业硅，碳粉等材料。经过成型、烘干后，再经高温烧结而制成的棒状或管状高温电热元件。硅碳棒作为电加热元件时，具有耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、抗变形能力好等特点。目前，在退火炉中进行硅碳棒的硅化再结晶时，接触的碳硅棒之间在高温下容易发生粘连，导致烧结后的碳硅棒无法分离甚至损坏，而且接触过密的碳硅棒容易带来温度不均匀的问题，影响碳硅棒的质量。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种生产碳硅棒的退火炉，这种退火炉通过优化和改进现有的碳硅棒退火炉的炉腔内部结构，可以有效避免碳棒的接触。为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下。

一种生产碳硅棒的退火炉，包括：炉体、气体循环通道、气体循环泵和放置架，其中：所述气体循环通道的两端均与炉体的炉腔连通，所述气体循环泵设置在气体循环通道上，以促使炉腔内的保护气体循环。所述放置架包括固定板、由竖杆和斜撑杆组成的支撑架，其中：所述固定板水平固定在炉腔的下表面上。所述竖杆竖向固定在固定板上，所述斜撑杆固定在竖杆的侧壁上，且斜撑杆相对于竖杆斜向上设置。沿着所述竖杆的高度方向在其左、右两侧壁上各设置一列间隔分布的斜撑杆，沿着所述固定板的长度方向设置有若干列间隔分布的所述支撑架。

进一步地，所述竖杆为空心管，其侧壁上开设有若干个与竖杆管腔连通的通气孔。

进一步地，所述放置架与炉体的炉门口正对，且炉门口为长方形，以便于将碳硅棒放置在斜撑杆上。

进一步地，所述斜撑杆与竖杆之间的夹角设置在20～40°之间。

进一步地，所述气体循环通道的两端分别位于炉腔的左、右两侧壁上，以便于保护气体在流动过程中贯穿炉腔，促进温度均匀。

进一步地，所述气体循环通道为石英管，其外壁上包覆有保温层，以降低炉腔内的热量损失。

进一步地，所述竖杆的左、右两侧壁上的两列斜撑杆交错分布，即在述竖杆的同一高度上只有一根斜撑杆，以使碳硅棒交错分布。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型在炉腔中设置了放置架用于放置碳硅棒，这种放置架通过斜撑杆和竖杆之前形成夹角，可以作为碳硅棒的支撑架，从而可以将碳硅棒的两端支撑在两组支撑架上，使碳硅棒处于悬空的状态，避免因碳硅棒之间接触而在高温下容易发生粘连以及带来的温度不均匀的问题。另外，这种斜向设置的斜撑杆在将碳硅棒放置在上面后可利用碳硅棒的自重使其挤在竖杆上，使硅碳棒的放置更加方便，不需额外固定碳硅棒的措施。同时，通过设置保护气体的循环装置，利用保护气体实现炉腔内热量的流动，促进炉腔内温度的均匀分布，保证了碳硅棒的生产质量。

附图说明

构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型实施例中生产碳硅棒的退火炉的主视图。

图2为本实用新型实施例中放置架的结构示意图。