[实用新型]一种返修装置

权利要求书

1.一种返修装置，其特征在于，所述返修装置包括支架(5)、刀具驱动座(4)、刀具(1)以及影像获取装置(2)；所述刀具驱动座(4)安装于所述支架(5)；所述刀具驱动座(4)传动连接所述刀具(1)；多个所述影像获取装置(2)分别从不同角度对向所述刀具(1)的作业端，以采集所述刀具(1)的作业端的影像信号。

2.根据权利要求1所述一种返修装置，其特征在于，设有两个所述影像获取装置(2)，两个所述影像获取装置(2)分别位于所述刀具(1)的相对的两侧位置。

3.根据权利要求2所述一种返修装置，其特征在于，所述影像获取装置(2)通过固定座(7)安装于所述支架(5)。

4.根据权利要求1所述一种返修装置，其特征在于，还具有作业台(3)，所述作业台(3)位于所述刀具(1)的作业端这一侧,所述作业台(3)包括用于承载待加工基板(8)的载台(301)。

5.根据权利要求4所述一种返修装置，其特征在于，所述作业台(3)包括第一运动座(302)，所述第一运动座(302)在第一方向上带动所述载台(301)移动。

6.根据权利要求5所述一种返修装置，其特征在于，所述作业台(3)还包括第二运动座(303)，所述第二运动座(303)在第二方向上带动所述载台(301)移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

7.根据权利要求1所述一种返修装置，其特征在于，所述刀具驱动座(4)包括第一电机；所述第一电机的输出端与所述刀具(1)传动连接，以驱动所述刀具(1)旋转。

8.根据权利要求1所述一种返修装置，其特征在于，所述支架(5)包括Z轴移动机构；所述Z轴移动机构连接于所述刀具驱动座(4)；所述Z轴移动机构带动所述刀具驱动座(4)在Z轴方向上运动。

9.根据权利要求8所述一种返修装置，其特征在于，所述Z轴移动机构包括：

第一直线导轨,所述第一直线导轨竖直的安装于所述支架(5)；

滑块，所述滑块安装于所述第一直线导轨；以及

第二电机，所述第二电机驱动所述滑块沿所述第一直线导轨运动；所述刀具驱动座(4)安装于所述滑块。

10.根据权利要求9所述一种返修装置，其特征在于，所述影像获取装置(2)安装于所述滑块。