[实用新型]一种多晶硅切割冷却装置有效
申请号: | 202121678061.5 | 申请日: | 2021-07-22 |
公开(公告)号: | CN215849000U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 张帅;朱常任;魏国 | 申请(专利权)人: | 江苏拓正茂源新能源有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘省超 |
地址: | 221612 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 切割 冷却 装置 | ||
本实用新型公开的一种多晶硅切割冷却装置,包括放置板、固定立板、放置上板、冷却液存放盒和冷却调节组件,固定立板呈对称设置设于放置板上端两侧,放置上板设于固定立板上,冷却液存放盒设于放置上板上,冷却调节组件设于放置板下方,冷却调节组件包括旋转电机、螺柱、升降板、转动支撑杆、放置围挡、抽水电机和喷头。本实用新型属于多晶硅加工技术领域,具体是一种能够调整喷头位置喷出冷却液,能够有针对性的对某一处进行快速的喷液冷却,调整方便,整体结构稳定,实用性强的多晶硅切割冷却装置。
技术领域
本实用新型属于多晶硅加工技术领域,尤其涉及一种多晶硅切割冷却装置。
背景技术
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。金刚线切割硅片技术已经广泛应用于单晶硅片加工过程中,并逐步应用于多晶硅片的加工。在现有的金刚线切割多晶硅片技术中,金刚线在高速运动过程中对硅锭或硅块进行磨削,需要冷却液进行冷却,因此需要一种多晶硅切割冷却装置。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种多晶硅切割冷却装置,能够调整喷头位置喷出冷却液,能够有针对性的对某一处进行快速的喷液冷却,调整方便,整体结构稳定,实用性强。
本实用新型采用的技术方案如下:一种多晶硅切割冷却装置,包括放置板、固定立板、放置上板、冷却液存放盒和冷却调节组件,所述固定立板呈对称设置设于放置板上端两侧,所述放置上板设于固定立板上,所述冷却液存放盒设于放置上板上,所述冷却调节组件设于放置板下方,所述冷却调节组件包括旋转电机、螺柱、升降板、转动支撑杆、放置围挡、抽水电机和喷头,所述旋转电机设于放置板上,所述螺柱设于旋转电机输出端,所述螺柱设于放置板下方,所述转动支撑杆呈对称设置设于放置板两侧,所述转动支撑杆一端与放置板呈铰接设置,所述转动支撑杆另一端连接有放置围挡,所述放置围挡呈对称设置,所述喷头设于放置围挡相互靠近一侧侧壁,所述抽水电机设于放置围挡内,所述抽水电机与冷却液存放盒管线连接,所述抽水电机与喷头管线连接,所述升降板设于螺柱上,所述升降板中心处于螺柱螺纹连接,所述升降板两端滑动设于转动支撑杆上。
进一步地,所述转动支撑杆上设有滑动口,所述滑动口呈口字型设置,所述滑动口两相对侧壁设有限位滑槽,所述升降板两端分别连接有限位杆,所述限位杆与升降板呈T型设置,所述限位杆两端滑动设于限位滑槽内,实现升降板两端在转动支撑杆上的滑动。
进一步地,所述放置板上设有放置腔,所述旋转电机设于放置腔内,对旋转电机起到防护效果。
进一步地,所述固定立板呈对称设置设有通孔,便于移动本装置同时不妨碍干扰转动支撑杆的转动。
进一步地,所述放置板两侧呈对称设置设有旋转槽,所述旋转槽内设有旋转轴,所述转动支撑杆一端设于旋转轴上,转动支撑杆与旋转轴为中心转动。
进一步地,所述固定立板上设有固定孔,方便对装置整体进行固定。
采用上述结构后,本实用新型有益效果如下:本实用新型一种多晶硅切割冷却装置,通过设置的冷却液调节组件,螺柱调整升降板的高度,同时调整转动支撑杆与放置板之前的角度,进而调整喷头的位置,实现调整喷头喷出冷却液的位置,能够有针对性的对某处进行快速的冷却;本装置能够调整喷头位置喷出冷却液,能够有针对性的对某一处进行快速的喷液冷却,调整方便,整体结构稳定,实用性强。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
图1为本实用新型一种多晶硅切割冷却装置整体结构示意图;
图2为本实用新型一种多晶硅切割冷却装置的主视图。
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