[实用新型]一种硅片旋转定位摆放装置

权利要求书

1.一种硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，包括：

转盘，所述转盘沿其圆周方向间隔开设有多个顶出槽；

顶出机构，安装在所述转盘下方，且所述顶出机构的输出端与所述顶出槽相配合；

装配组件，安装在所述顶出机构的输出端，且所述装配组件位于所述转盘上方。

2.根据权利要求1所述的硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，所述顶出机构的数目和所述顶出槽的数目一致。

3.根据权利要求1所述的硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，所述顶出机构包括：

安装支架，设置在所述转盘的下侧；

顶出气缸，安装在所述安装支架上，所述顶出气缸竖直设置，且所述顶出气缸的输出端与所述顶出槽相配合；

浮升板，安装在所述顶出气缸的输出端。

4.根据权利要求3所述的硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，所述顶出槽的两侧设置有限位柱。

5.根据权利要求4所述的硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，所述装配组件包括：

装配板，所述装配板的底部设置有与所述限位柱相配合的通孔，且所述装配板位于所述转盘上方；

花篮，装配于所述装配板上方。

6.根据权利要求5所述的硅片旋转定位摆放装置，其特征在于，所述花篮的装配口朝向外侧。