[实用新型]一种新型电磁铁组弧靶

说明书

一种新型电磁铁组弧靶，包括引弧装置、法兰、冷却装置、靶材、绝缘隔板，其特征在于：还包含一电磁铁组；所述电磁铁组套装在所述冷却装置的芯棒Ⅰ上，使用紧固螺母紧固固定；所述电磁铁组包含底座、电磁线圈、上盖；所述底座呈圆盘性，其中心开孔Ⅰ，表面上均布若干凸起，每个凸起上套装一个电磁线圈；所述上盖安装在所述电磁线圈上，使用螺丝Ⅰ与凸起连接，并紧固所述电磁线圈。本实用新型采用电磁铁组结构，可以调节电流和电压的大小，通过电能变化影响磁能变化，并与靶材材料进行匹配，自动线性控制弧光，使得镀层更加致密、结合力好，耐磨、耐腐蚀性能大大提升，材料利用率更高，颜色的重复再现性更好。

技术领域

本实用新型涉及真空电弧离子镀技术领域，尤其涉及一种新型电磁铁组弧靶。

背景技术

电弧离子镀技术作为当今最成功的一种物理气相沉积技术，被广泛应用与刀具、模具及汽车零部件等表面的处理。目前，市面上的弧靶使用的磁铁组大多采用永磁铁制成，永磁铁在长期的运行过程中，由于工作产生的热量，会失去磁性，导致弧靶不能使用；同时现有的磁铁组大多磁力范围小，磁场小，弧靶使用这类的磁铁组工作时弧光范围小，距离近，镀膜效率低，镀膜效果差。

实用新型内容

本实用新型目的在于解决现有技术的问题，提供一种结构简单，使用寿命长的，镀膜效果好的弧靶。

本实用新型的技术方案：一种新型电磁铁组弧靶，包括引弧装置、法兰、冷却装置、靶材、绝缘隔板，法兰与绝缘隔板连接，冷却装置与法兰连接，穿过法兰和绝缘隔板，靶材安装在冷却装置末端，引弧装置安装在法兰上，其特征在于：还包含一电磁铁组；所述电磁铁组套装在所述冷却装置的芯棒Ⅰ上，使用紧固螺母紧固固定；所述电磁铁组包含底座、电磁线圈、上盖；所述底座呈圆盘形，其中心开孔Ⅰ，表面上均布若干凸起，每个凸起上套装一个电磁线圈；所述上盖安装在所述电磁线圈上，使用螺丝Ⅰ与凸起连接，并紧固所述电磁线圈。

进一步，所述上盖上开孔Ⅱ。

进一步，所述凸起由导磁材料制成。

进一步，所述电磁线圈包含支架、线圈。

进一步，所述靶材外围套设护圈；所述护圈使用螺丝与所述法兰连接；所述护圈端面上设置护圈上盖，护圈上盖使用螺丝与护圈固定连接。

进一步，所述冷却装置包括主体、上盖Ⅰ、芯棒Ⅰ；所述主体上开设安装腔；所述芯棒Ⅰ与所述上盖Ⅰ相连安装在所述安装腔内；所述芯棒Ⅰ底面、上盖Ⅰ的底面与安装腔的底面围成一个冷却水道；所述冷却水道中部设置挡水板；所述芯棒Ⅰ呈圆柱形，其表面开设螺纹，内部开设进水水道、出水水道；所述进水水道、出水水道分别位于所述挡水板的两侧；所述主体的下部开设螺纹孔用于安装所述靶材。

进一步，所述芯棒Ⅰ的末端安装快速接头；所述快速接头使用螺丝与所述芯棒Ⅰ连接；所述快速接头上设置进水孔和出水孔，分别与进水水道、出水水道连接。

进一步，所述引弧装置包括引弧器、引弧杆、引弧针。

进一步，所述进水水道通过冷却水道与所述出水水道相通。

本实用新型的有益效果：（1）本实用新型设置冷却装置对弧靶及电磁铁组进行降温，降温效果好，镀制膜效果佳，弧靶使用寿命长；（2）本实用新型采用电磁铁组结构，可以调节电流和电压的大小，通过电能变化影响磁能变化，并与靶材材料进行匹配，自动线性控制弧光，使得镀层更加致密、结合力好，耐磨、耐腐蚀性能大大提升，材料利用率更高，颜色的重复再现性更好；（3）本实用新型的电磁铁组采用多个均匀分布的电磁线圈形成多个电磁铁，进而形成多级的磁线圈结构，生成磁悬浮的磁场，对电离状态的离子起到加大推力的作用，镀膜结合力好、镀膜速度快、镀膜效率高。

附图说明

图1为本实用新型剖视图；图2为本实用新型立体图；图3为本实用新型平面图。

具体实施方式