[实用新型]一种太阳能电池片清洗装置、刻蚀机

权利要求书

1.一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，包括：

若干个放置不同清洗溶液的槽体；

每个所述槽体内均配置有由若干间隔设置的滚轮；

每个所述滚轮的外壁均具有若干齿槽；

所述齿槽可在硅片被架设平放于所述滚轮上时从所述槽体内载入清洗溶液对所述硅片背面及外缘面处的磷硅玻璃层进行清洗，并推动所述硅片沿所述滚轮形成的链式传输结构上依次经过不同清洗溶液的所述槽体，以去除所述硅片表面及外缘面处的磷硅玻璃层；

其中，至少其中一个所述槽体内所述滚轮中的所有所述齿槽的齿距和齿深与其它所有所述槽体内所述滚轮中的所有所述齿槽不同。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，每个所述滚轮中的所有所述齿槽均沿所述滚轮的轴线绕设于所述滚轮外壁面呈螺旋结构设置；并

均垂直于所述滚轮轴线均匀间隔设置；

且所有所述滚轮的最大外径及长度均相同。

3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，所述至少其中一个所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿距较所述其它所有所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿距小；并

置于第一个所述槽体内所述滚轮中的所述齿槽的齿深较其它所有所述槽体内所述滚轮中的所述齿槽的齿深大。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，所述至少其中一个所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿距相同，范围为1.75-3.75mm。

5.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，所述至少其中一个所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿深相同，范围为2.05-3.65mm。

6.根据权利要求4或5所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，所述其它所有所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿距相同，范围为1.95-3.95mm。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，所述其它所有所述槽体中的所述滚轮上的所有所述齿槽的齿深相同，范围为1.9-3.5mm。

8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，在所述其它所有所述槽体内还配设有与所述滚轮上下相对设置的辊轴；所述辊轴与所述滚轮旋转配合以防止所述硅片偏移；

所述辊轴包括若干活动连接设置的短轴；

在相邻所述短轴的连接处设有凸台；

所述辊轴与所述滚轮之间具有间隙；

所述辊轴端部设有与置于所述滚轮端部的从动齿轮相啮合的联动齿轮。

9.根据权利要求8所述的一种太阳能电池片清洗装置，其特征在于，还包括：

用于驱动所述滚轮与所述辊轴同步旋转的驱动轴；

所述驱动轴被设于所述滚轮和所述辊轴的同一端侧；

所述驱动轴上设有与所述从动齿轮啮合的驱动齿轮。

10.一种刻蚀机，其特征在于，至少包括如权利要求1-9任一项所述的清洗装置，还包括：

设于所述清洗装置之前的氧化装置；以及

设于所述清洗装置之后的碱抛装置；

其中，所述碱抛装置采用花篮承载立放的所述硅片的方式对所述硅片的背面及外缘面上的PN结进行去除；

所述至少其中一个所述槽体被设于靠近所述氧化装置一侧设置；所述其它所有所述槽体均被置于靠近所述碱抛装置一侧设置。