[实用新型]一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置

权利要求书

1.一种籽晶杆移动组件，其特征在于，包括：

底座；

X轴平移装置，与所述底座滑动连接；

Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；

壳体，设置于Y轴平移装置；

转动件，设置于所述壳体内；

籽晶杆，与所述转动件连接。

2.根据权利要求1所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述壳体的内侧壁上设置有称重传感器，所述转动件位于所述称重传感器下方并与所述称重传感器连接，所述称重传感器与所述壳体的顶壁具有间隔。

3.根据权利要求2所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述称重传感器水平设置，所述称重传感器的两端分别连接所述壳体、所述籽晶杆。

4.根据权利要求1所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述底座上设置有第一通孔，所述X轴平移装置上设置有第二通孔，所述Y轴平移装置上设置有第三通孔，所述壳体上设置有第四通孔；

所述籽晶杆依次穿过所述第四通孔、所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔。

5.根据权利要求4所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述X轴平移装置包括：

X轴导轨，设置于所述底座；

X轴滑块，与所述X轴导轨滑动连接；

X轴螺杆，与所述底座转动连接；

X轴驱动件，设置于所述底座，所述X轴驱动件与所述X轴螺杆连接以驱动所述X轴螺杆转动；

X轴连接件，设置于X轴滑块，所述X轴连接件与所述X轴螺杆转动连接。

6.根据权利要求5所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述Y轴平移装置包括：

Y轴导轨，设置于所述X轴滑块；

Y轴滑块，与所述Y轴导轨滑动连接；

Y轴螺杆，与所述X轴滑块转动连接；

Y轴驱动件，设置于所述X轴滑块，所述Y轴驱动件与所述Y轴螺杆连接以驱动所述Y轴螺杆转动；

Y轴连接件，设置于Y轴滑块，所述Y轴连接件与所述Y轴螺杆转动连接。

7.根据权利要求4所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述第四通孔的边缘设置有管体，所述管体围绕所述籽晶杆外，所述管体依次穿过所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔；

所述管体上设置有密封波纹管，所述密封波纹管围绕所述籽晶杆。

8.根据权利要求1-7任一项所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述籽晶杆移动组件还包括：

Z轴升降装置，所述Z轴升降装置与所述底座连接。

9.根据权利要求8所述的籽晶杆移动组件，其特征在于，所述Z轴升降装置包括：

基座；

Z轴导轨，设置于所述基座，所述底座与所述Z轴导轨滑动连接；

Z轴螺杆，与所述基座转动连接；

Z轴驱动件，设置于所述基座，所述Z轴驱动件与所述Z轴螺杆连接以驱动所述Z轴螺杆转动；

Z轴连接件，设置于所述基座，所述Z轴连接件与所述Z轴螺杆转动连接。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任意一项所述的籽晶杆移动组件。