[实用新型]一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置

说明书

本实用新型公开了一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置，籽晶杆移动组件包括：底座；X轴平移装置，与所述底座滑动连接；Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；壳体，设置于Y轴平移装置；转动件，设置于所述壳体内；籽晶杆，与所述转动件连接。通过在底座上设置X轴平移装置，并设置Y轴平移装置，将籽晶杆与转动件连接，转动件，设置于所述壳体内，且壳体与Y轴平移装置连接，通过X轴平移装置、Y轴平移装置以及转动件可以调整籽晶杆在水平面内的位置，从而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。

技术领域

本实用新型涉及籽晶杆移动组件技术领域，尤其涉及的是一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置。

背景技术

导模法生长氧化镓晶体是通过模具缝隙的虹吸现象把熔体提升到模具的上表面，之后下降籽晶至模具上表面使籽晶与熔体接触后开始生长晶体。

现在技术中，籽晶杆的位置无法在水平面上进行调整，在下降籽晶杆并将籽晶与熔体接触时，籽晶并不是对准模具的位置。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置，旨在解决现有技术中籽晶杆的位置无法在水平面上进行调整的问题。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种籽晶杆移动组件，其中，包括：

底座；

X轴平移装置，与所述底座滑动连接；

Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；

壳体，设置于Y轴平移装置；

转动件，设置于所述壳体内；

籽晶杆，与所述转动件连接。

所述的籽晶杆移动组件，其中，所述壳体的内侧壁上设置有称重传感器，所述转动件位于所述称重传感器下方并与所述称重传感器连接，所述称重传感器与所述壳体的顶壁具有间隔。

所述的籽晶杆称重组件，其中，所述称重传感器水平设置，所述称重传感器的两端分别连接所述壳体、所述籽晶杆。

所述的籽晶杆移动组件，其中，所述底座上设置有第一通孔，所述X轴平移装置上设置有第二通孔，所述Y轴平移装置上设置有第三通孔，所述壳体上设置有第四通孔；

所述籽晶杆依次穿过所述第四通孔、所述第三通孔、所述第二通孔以及第一通孔。

所述的籽晶杆移动组件，其中，所述X轴平移装置包括：

X轴导轨，设置于所述底座；

X轴滑块，与所述X轴导轨滑动连接；

X轴螺杆，与所述底座转动连接；

X轴驱动件，设置于所述底座，所述X轴驱动件与所述X轴螺杆连接以驱动所述X轴螺杆转动；

X轴连接件，设置于X轴滑块，所述X轴连接件与所述X轴螺杆转动连接。

所述的籽晶杆移动组件，其中，所述Y轴平移装置包括：

Y轴导轨，设置于所述X轴滑块；

Y轴滑块，与所述Y轴导轨滑动连接；

Y轴螺杆，与所述X轴滑块转动连接；

Y轴驱动件，设置于所述X轴滑块，所述Y轴驱动件与所述Y轴螺杆连接以驱动所述Y轴螺杆转动；

Y轴连接件，设置于Y轴滑块，所述Y轴连接件与所述Y轴螺杆转动连接。