[实用新型]一种半导体供液设备

权利要求书

1.一种半导体供液设备，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内壁固定连接有固定板（2），所述箱体（1）内壁顶端设有风机（4），所述固定板（2）顶部设有电热管（5），所述风机（4）输出端位于固电热管（5）顶部；

所述固定板（2）底部设有支撑板（6），所述支撑板（6）顶部设有超声波发生器（7），所述固定板（2）与支撑板（6）之间设有固定槽（14），所述固定槽（14）的数量设置为两个，所述固定槽（14）与箱体（1）内壁固定连接，两个所述固定槽（14）之间设有固定架（8），所述固定架（8）的数量设置为两个，两个所述固定架（8）之间相对应，所述固定架（8）内壁固定连接有插槽（9），所述插槽（9）的数量设置为多个，两个所述固定架（8）之间设有放置板（10），所述放置板（10）的数量设置为多个，所述放置板（10）与插槽（9）滑动连接，所述放置板（10）内壁开设有容纳腔（11）；

所述固定架（8）外壁一侧固定连接有转动杆（13），所述转动杆（13）与固定槽（14）相匹配，所述固定槽（14）内壁两侧均故意的连接有固定块（15），所述转动杆（13）外壁两侧均固定连接有定位凸块（16），两个所述定位凸块（16）内壁插接有连接滑杆（17），所述连接滑杆（17）与定位凸块（16）活动套接，所述连接滑杆（17）与固定块（15）固定连接，所述连接滑杆（17）为弧形设置，所述连接滑杆（17）外壁两侧均活动套接有压缩弹簧（18）；

所述支撑板（6）内壁中轴线处设有排液管（21），所述排液管（21）外壁底端设有过滤盒（20），所述过滤盒（20）底部设有储液箱（19），所述过滤盒（20）底部贯穿储液箱（19）所延伸至储液箱（19）内壁顶端，述箱体（1）外壁一侧设有水泵（23），所述水泵（23）输入端与储液箱（19）通过导管连接，所述水泵（23）顶部设有加热器（24）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体供液设备，其特征在于：所述固定板（2）内壁开设有排风孔（3），所述排风孔（3）的数量设置为多个。

3.根据权利要求1所述的一种半导体供液设备，其特征在于：所述容纳腔（11）的数量设置为多个，所述容纳腔（11）底部开设有排水孔（12），所述排水孔（12）的数量设置为多个。

4.根据权利要求1所述的一种半导体供液设备，其特征在于：所述排液管（21）内壁一侧设有第一控制阀（22）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体供液设备，其特征在于：所述过滤盒（20）内壁一侧设有活性炭过滤网（29），所述活性炭过滤网（29）底部设有过滤网（28）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体供液设备，其特征在于：所述加热器（24）与水泵（23）之间连接有输液管（25），所述加热器（24）输出端设有进液管（26），所述进液管（26）贯穿箱体（1）延伸至箱体（1）内壁一侧，所述进液管（26）位于固定槽（14）底部所述进液管（26）内壁设有第二控制阀（27），所述箱体（1）内壁一侧设有液位传感器（30）一侧，所述液位传感器（30）与第二控制阀（27）电性连接。