[实用新型]一种探地雷达检定装置辅助标准组件的测量装置

说明书

本实用新型提供了一种探地雷达检定装置辅助标准组件的测量装置。四个直线导轨组合成一个便携式可拆卸三维位移台，四个直线导轨分别为第一至第四直线导轨，第一直线导轨、第四直线导轨平行于Z轴，第二直线导轨平行于X轴，第三直线导轨平行于Y轴，激光干涉仪和线性干涉镜固定在第二直线导轨上，线性反射镜和反射镜固定装置固定在第三直线导轨上，其中激光干涉仪的入射光线与出射光线应平行于Y轴，且垂直于被测平板。本实用新型实现对工作方向的运动误差进行测量用于补偿最终测量结果、自动寻找测量定位点及自动化测量过程，保证了测量装置的精度和准确性，极大地缩短了测量时间。

技术领域

本实用新型属于地球物理勘探领域。

背景技术

探地雷达以其高探测分辨率、高工作效率等诸多优点而成为地球物理勘探的一种有力工具。特别是近年来随着电子技术、信号处理技术以及计算机应用技术的迅速发展，探地雷达得到了不断更新和发展,其应用领域不断扩大。雷达的检校则成为雷达溯源工作的重中之重。

探地雷达检定装置辅助标准组件是雷达计量标准的重要组成部分，但是测量此设备的难度较大，要求测量标准器测量精度高，数据重复性好，其量值溯源工作还没能全面展开。业内对此类仪器设备的量值溯源一般采用计量检定的管理体制，仪器设备必须具有严密的量值溯源链。因此，建立科学、完善的探地雷达计量标准，必须首要实现探地雷达检定装置辅助标准组件的高精度快速测量，从而实现量值溯源传递。

发明内容

一种探地雷达检定装置辅助标准组件的测量装置，其特征在于：四个直线导轨组合成一个便携式可拆卸三维位移台，四个直线导轨分别为第一至第四直线导轨，第一直线导轨1、第四直线导轨4平行于Z轴，第二直线导轨2平行于X轴，第三直线导轨3平行于Y轴，激光干涉仪5和线性干涉镜6固定在第二直线导轨2上，线性反射镜7和反射镜固定装置8固定在第三直线导轨3上，其中激光干涉仪5的入射光线与出射光线应平行于Y轴，且垂直于被测平板11。

应用所述测量装置的方法，其特征在于：

(1)四个直线导轨组合成一个便携式可拆卸三维位移台，第一直线导轨1、第四直线导轨4平行于Z轴且在Z轴产生共同运动，第二直线导轨2平行于X轴且可在X轴方向运动，第三直线导轨3平行于Y轴且可在Y轴方向运动，其中第三直线导轨3可随直线导轨2沿X轴方向运动，第二直线导轨2可随第一和第四直线导轨共同沿Z轴方向运动；激光干涉仪5和线性干涉镜6固定在第二直线导轨2上可随第二直线导轨2沿X轴方向运动，线性反射镜7和反射镜固定装置8固定在第三直线导轨3上且可随第三直线导轨3上在Y轴方向运动，其中激光干涉仪5的入射光线与出射光线应平行于Y轴，且垂直于被测平板11。

(2)激光干涉仪5通过直线度干涉镜9和直线度反射镜10测得直线导轨3在Y轴方向运动中的直线度误差，用于对最终测厚结果的误差补偿；

(3)通过一个固定位置对激光干涉仪5初始标零，线性反射镜7通过一个直线杆插入固定装置8中，在测量过程中当直线杆接触到被测物体表面时直线导轨停止移动，在此过程中激光干涉仪5、线性干涉镜6、线性反射镜7相对位置不变；

(4)将线性反射镜6放置于被测平板的第一个被测点处，激光干涉仪5通过三维位移台自动调节位置，直到干涉仪处于正常工作状态，找到初始测量位置，将反射镜放置回固定装置中；

(5)激光干涉仪会自动检测每个被测平板上的多个测点，得到每个平面的平面度，从而计算得到被测物体的平均厚度。测量结束后激光干涉仪会自动回到初始零点位置，以便于移动被测平板。

本专利申请主要解决探地雷达检定装置辅助标准组件测量的技术问题。主要有：

①测量被测物体上下表面的位置得到被测物体的厚度值，通过组合直线导轨实现便携式可拆卸三维位移台，并通过一次安装激光干涉仪产生三个维度的线性移动，移动靶镜在不同的位置，分别实现对工作方向的运动误差进行测量用于补偿最终测量结果、自动寻找测量定位点及自动化测量过程，保证了测量装置的精度；