[实用新型]基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统

权利要求书

1.一种基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；

所述成像单元用于产生P偏振光进行均匀照明，包括上表面成像单元、下表面成像单元，分别位于透明薄膜的上表面和下表面，以同一布儒斯特角将P偏振光分别入射到透明薄膜的上下表面实现双路全透射；所述采集单元包括载物台、两组线阵相机，两组线阵相机分别位于透明薄膜的上表面和下表面，分别接收经透明薄膜下、上表面透射出的光线进行成像。

2.根据权利要求1所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述成像单元包括依次设置的光源、P偏振片、滤光片、准直镜、匀光镜和聚光透镜，其中心均位于同一轴线上，匀光镜位于聚光透镜焦点上，光源发出光线经过P偏振片得到P偏振光，再经过滤光片来进行光源光强和波长调节，最后依次通过准直镜、匀光镜和聚光透镜后产生均匀照明的P偏振光。

3.根据权利要求2所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述光源为可见光光源或激光光源或红外光源。

4.根据权利要求1所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，每组线阵相机分别在透明薄膜的上表面和下表面明域、暗域位置安放有两个线阵相机，来获取所有缺陷的高质量图像。

5.根据权利要求1或4所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述线阵相机采用线阵CCD相机或/和CMOS相机。

6.根据权利要求1所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述采集单元还包括滑动导轨，所述载物台位于滑动导轨上。

7.根据权利要求1或6所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台上承载有待检测薄膜，配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像。

8.根据权利要求1或6所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台在起始位置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器。

9.根据权利要求1所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有显示单元，所述显示单元采用手机、平板、电脑中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有执行单元，所述执行单元包括报警器、语音播放器。