[实用新型]基于线结构光的薄膜均匀性检测系统

权利要求书

1.一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；

所述成像单元用于产生网格图像，依次包括光源、滤光片、网格衍射光栅，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过网格衍射光栅后进行衍射分光，形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域；所述采集单元包括载物台、多个线阵相机，载物台上薄膜被测区域形成的网格图像反射到对应的线阵相机。

2.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述网格衍射光栅采用电子光栅，得到多束分光束，通过透光栅条与不透光栅条获得相干波干涉条纹作为投影光，用于在薄膜被测区域上形成网格图像。

3.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述成像单元还包括设置在光源与滤光片之间的偏振片，用于偏振光照明，解决高反光薄膜的均匀性检测问题。

4.根据权利要求1或3所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述滤光片包括多个带通滤光片。

5.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述采集单元还包括滑动导轨，所述载物台位于滑动导轨上。

6.根据权利要求1或5所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台上承载有待检测薄膜，配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像。

7.根据权利要求1或5所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台在起始位置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器。

8.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述线阵相机采用线阵CCD相机或/和CMOS相机。

9.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有显示单元，所述显示单元采用手机、平板、电脑中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有执行单元，所述执行单元包括报警器、语音播放器。