[实用新型]基于线结构光的薄膜均匀性检测系统有效
申请号: | 202121963070.9 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN215865743U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人: | 李璐 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 结构 薄膜 均匀 检测 系统 | ||
本实用新型公开了一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;所述成像单元用于产生网格图像,依次包括光源、滤光片和网格衍射光栅,光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节,再经过网格衍射光栅后进行衍射分光,形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域;所述采集单元包括载物台和多个线阵相机,载物台上薄膜被测区域形成的网格图像反射到对应的线阵相机。本实用新型能够满足薄膜绝大多数缺陷类型检测所需的图像质量要求,实现薄膜表面的均匀性检测。
技术领域
本实用新型涉及薄膜均匀性检测技术领域,特别是涉及一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统。
背景技术
薄膜广泛应用于液晶电视、平板电脑、智能手机、车载显示屏等领域,受生产工艺或生产环境等条件的限制,薄膜在生产过程中容易产生质量缺陷,主要表现在厚度不均匀、表面出现划痕、内部产生气泡,或薄膜内部掺入杂质、尘埃等,因此,薄膜均匀性检测成为薄膜类材料生产质量控制的重要一环。
传统的检测一般由有经验的检测人员目测和简单测量来实现,检测结果缺乏可靠性以及精确性,无法量化评价且难以进行长时间的观测。结构光视觉检测方法凭借其非接触性,可获取检测对象工件尺寸且具有高精度的优势,成为目前薄膜领域最具发展前景的检测技术。
因此亟需提供一种新型的基于线结构光的薄膜均匀性检测系统来解决上述问题。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统,能够实现薄膜表面的均匀性检测。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;
所述成像单元用于产生网格图像,依次包括光源、滤光片网格衍射光栅,光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节,再经过网格衍射光栅后进行衍射分光,形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域;所述采集单元包括载物台多个线阵相机,载物台上薄膜被测区域形成的网格图像反射到对应的线阵相机。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述网格衍射光栅采用电子光栅,得到多束分光束,通过透光栅条与不透光栅条获得相干波干涉条纹作为投影光,用于在薄膜被测区域上形成网格图像。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述成像单元还包括设置在光源与滤光片之间的偏振片,用于偏振光照明,解决高反光薄膜的均匀性检测问题。
进一步的,所述滤光片包括多个带通滤光片。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述采集单元还包括滑动导轨,所述载物台位于滑动导轨上。
进一步的,所述载物台上承载有待检测薄膜,配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像。
进一步的,所述载物台在起始位置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述线阵相机采用线阵CCD相机或/和CMOS相机。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述存储单元的输出端还连接有显示单元,所述显示单元采用手机、平板、电脑中的一种或多种。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述存储单元的输出端还连接有执行单元,所述执行单元包括报警器、语音播放器。
本实用新型的有益效果是:
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