[实用新型]一种射频离子源中和器的电极有效
| 申请号： | 202122158259.7 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN216161685U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王伟;张勇军;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 中和 电极 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频离子源中和器的电极，其特征在于：所述电极为非闭环的杯状体，在杯状体的环上设置有两个以上缺口。
2.根据权利要求1所述的一种射频离子源中和器的电极，其特征在于：在所述杯状体的环上，缺口设置有2N-1个，其中，N为不含0和1的自然数；其中一个缺口开口中线与环口的开口中线为同一中线；剩余缺口中以环的中心线为对称轴，相对的两个缺口的开口中线为同一中线。
3.根据权利要求2所述的一种射频离子源中和器的电极，其特征在于：所述缺口的长度小于等于环口的长度。
4.根据权利要求1~3任一项所述的一种射频离子源中和器的电极，其特征在于：所述电极上通入负电场。
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