[实用新型]连续多通道检测MO源浓度的装置有效

专利信息
申请号: 202122178318.7 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN216411188U 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 郑锐;彭真;王宏波;俞冬雷 申请(专利权)人: 安徽亚格盛电子新材料有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01G19/52;G01N35/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 杨静
地址: 241000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 连续 通道 检测 mo 浓度 装置
【权利要求书】:

1.一种连续多通道检测MO源浓度的装置,包括有至少四个源瓶(1),所有的源瓶(1)共同通过进管路一(2)连接有氮气缓冲罐(3);

其特征在于:所有的源瓶(1)通过测试阀(4)共同连接有测试管路(5),测试管路(5)末端连接有浓度测试仪(6),浓度测试仪(6)连接有末端管路(7);

所有的源瓶(1)通过排出阀(26)共同连接有旁通管路(8),旁通管路(8)连接着缓冲罐(9);

末端管路(7)上连接有第一吸收罐(10)和第二吸收罐(11),缓冲罐(9)也连接在末端管路(7)上;

所有的源瓶(1)与氮气缓冲罐(3)之间还通过进管路二(12)进行连接,进管路二(12)连接有并联的流量计一(13)和压力控制器(14)。

2.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述氮气缓冲罐(3)的进气端连接有气体纯化器(15)。

3.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述第一吸收罐(10)底部设置有电子秤(16)。

4.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述流量计一(13)和压力控制器(14)的末端通过压差计(17)与测试管路(5)相连。

5.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述流量计一(13)和压力控制器(14)的末端通过阀门一(18)以及氮气缓冲罐(3)通过阀门二(19)共同连接有真空泵一(20);所述末端管路(7)的末端连接有真空泵二(21)。

6.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述每个源瓶(1)均连接有流量计二(22),流量计二(22)连接着并联的末端管路(7)和旁通管路(8)。

7.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述源瓶(1)连接着进管路一(2)一端设置有阀门三(23);所述源瓶(1)连接着进管路二(12)一端设置有阀门四(24)。

8.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置,其特征在于:所述缓冲罐(9)连接有真空压力表(25)。

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