[实用新型]连续多通道检测MO源浓度的装置

说明书

本实用新型的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。

技术领域

本实用新型涉及MO源领域，尤其涉及一种连续多通道检测MO源浓度的装置。

背景技术

MO源 （metalorganic source）种类繁多，在研究和生产中使用过的MO源超过70多种， MO源概念已超出金属有机化合物的范围，现在MO源的含义应是：凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源，因此MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物（Precursor）”。

现有技术专利 CN103924214A公开了一种蒸汽输送MO源连续供应系统，通过设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都设置有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可， 不需要精确控温；当MO源钢瓶液位高时， 便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源， 再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用。但是目前，MO源应用在客户端MOCVD机台上使用时，浓度的准确且稳定输出是一个基础需求，所以MO源的生产在优化工艺和质量过程中需要对源的浓度稳定输出情况进行检测，且MO源使用周期甚至长达数月，中间存在老化，固态源自重压缩，板结等情况，造成输出浓度不稳定，无法满足客户需求。因此需要提供一种多通道连续检测MO源浓度的装置。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的，解决了背景技术中出现的问题。

本实用新型的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；

所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；

所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；

末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；

所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。

进一步改进在于：所述氮气缓冲罐的进气端连接有气体纯化器。

进一步改进在于：所述第一吸收罐底部设置有电子秤。

进一步改进在于：所述流量计一和压力控制器的末端通过压差计与测试管路相连。

进一步改进在于：所述流量计一和压力控制器的末端通过阀门一以及氮气缓冲罐通过阀门二共同连接有真空泵一；所述末端管路的末端连接有真空泵二。

进一步改进在于：所述每个源瓶均连接有流量计二，流量计二连接着并联的末端管路和旁通管路。

进一步改进在于：所述源瓶连接着进管路一一端设置有阀门三；所述源瓶连接着进管路二一端设置有阀门四。

进一步改进在于：所述缓冲罐连接有真空压力表。