[实用新型]一种用于调节晶振探头角度的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于调节晶振探头角度的装置，包括：调节管，晶振探头能够装设于调节管内部，蒸发腔的腔壳上设置有管孔，调节管的一部分通过管孔进入蒸发腔内；基座，基座位于蒸发腔外部，调节管铰接在基座上，管孔的孔径大于调节管的外径，以允许调节管转动；锁紧件，锁紧件能够将调节管锁紧在基座上，且锁紧件可拆卸。在本实用新型中，调节管可以转动，而晶振探头装设在调节管内，因此可以通过转动调节管的方式来使晶振探头对着蒸发舟，以利于探测到蒸发物料。在调节管调节到预期的位置后，利用锁紧件将调节管锁紧在基座上。本实用新型中的调节装置能够规避对晶振探头的弯折，因此规避了线缆的断裂，延长了晶振探头的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸发镀膜领域，更具体地说，涉及一种用于调节晶振探头角度的装置。

背景技术

晶振探头能够检测蒸发舟的蒸发速率。现有的晶振探头装置包括晶振探头、冷却水管、夹具、振荡器等部件。蒸发舟位于蒸发腔内。晶振探头也位于蒸发腔内，并且蒸发腔的腔壳上设置有用于固定晶振探头装置的固定部。但是，将晶振探头装置固定后，晶振探头往往不会恰好对着蒸发舟，如此就不利于晶振探头探测到蒸发气体。为解决该问题，本领域技术人员通常会将晶振探头弯折，以使晶振探头对着蒸发舟。但是，在弯折的过程中，很可能会将内部电缆折断，从而造成断路。另外，还有可能将晶振探头的内部零件折断，那么就需要更换新的晶振探头。

实用新型内容

本实用新型的目的是使晶振探头恰好正对蒸发舟，同时能够规避弯折晶振探头。为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种用于调节晶振探头角度的装置，包括：

调节管，晶振探头能够装设于所述调节管内部，蒸发腔的腔壳上设置有管孔，所述调节管的一部分通过所述管孔进入所述蒸发腔内；

基座，所述基座位于所述蒸发腔外部，所述调节管铰接在所述基座上，所述管孔的孔径大于所述调节管的外径，以允许所述调节管转动；

锁紧件，所述锁紧件能够将所述调节管锁紧在所述基座上，且所述锁紧件可拆卸。

优选地，还包括调节杆，所述调节杆的一端铰接在所述调节管上，另一端铰接有滑块，所述基座上设置有滑槽，所述滑块沿着所述滑槽滑动以推动所述调节管转动，所述锁紧件用于将所述滑块与所述滑槽锁紧。

优选地，所述滑槽的侧壁上设置有第一螺栓孔，所述第一螺栓孔为多个，多个所述第一螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向排布，所述滑块上设置有第二螺栓孔，所述锁紧件为第一锁紧螺栓，所述第一锁紧螺栓与所述第一螺栓孔和所述第二螺栓孔配合使用。

优选地，所述滑槽的侧壁上设置有第三螺栓孔，所述第三螺栓孔为长条孔，所述第三螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向延伸，所述滑块上设置有第四螺栓孔，所述锁紧件为第二锁紧螺栓，所述第二锁紧螺栓与所述第三螺栓孔和所述第四螺栓孔配合使用。

优选地，所述调节管上固连有第一铰接座，所述第一铰接座上设置有第一铰接耳，所述第一铰接耳上设置有第一销轴孔，且所述第一铰接耳为两个；

所述调节杆的一端设置有第一销轴，所述第一销轴的两端分别插设在两个所述第一销轴孔内。

优选地，所述调节杆的另一端设置有第二销轴，所述滑块上设置有第二铰接耳，所述第二铰接耳上设置有第二销轴孔，所述第二铰接耳为两个，所述第二销轴的两端分别插设在两个所述第二销轴孔内。

优选地，所述调节管上固连有第三销轴，所述基座上设置有第三销轴孔，所述第三销轴配合于所述第三销轴孔内。

优选地，在所述基座靠近所述蒸发腔的一端，所述滑槽的侧壁相对于所述滑槽的底壁向着所述蒸发腔的方向凸出，形成侧壁凸出部，所述第三销轴孔设置在所述侧壁凸出部上。