[实用新型]一种微筛过滤器

权利要求书

1.一种微筛过滤器，其特征在于，包括：第一基板和与所述第一基板相对设置的第二基板，所述第一基板朝向所述第二基板的表面依次形成第一导电层和光敏层，所述第二基板朝向所述第一基板的表面形成第二导电层，所述光敏层与所述第二导电层之间形成用于捕获待分析样品中的细胞的通道，所述第一基板上贯穿所述第一导电层和光敏层形成微筛孔阵列，所述第一导电层和所述第二导电层之间在加偏置电压时能够形成电场以捕获位于所述通道内的待分析样品中的细胞。

2.根据权利要求1所述的微筛过滤器，其特征在于，所述第一基板背离所述第一导电层的一侧设置聚焦物镜，透过所述聚焦物镜进入所述第一基板的光能够在所述光敏层上产生光斑。

3.根据权利要求1所述的微筛过滤器，其特征在于，所述第一导电层和所述第二导电层均包括氧化铟锡薄膜。

4.根据权利要求1所述的微筛过滤器，其特征在于，所述光敏层包括氢化非晶硅薄膜。

5.根据权利要求1所述的微筛过滤器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板均包括载玻片。

6.一种微筛过滤器，其特征在于，包括：基板，所述基板上依次形成光敏层和导电层，所述基板背离所述光敏层的表面形成支撑柱，所述基板上贯穿所述导电层和光敏层形成微筛孔阵列，所述导电层在所述光敏层上呈多个折弯状结构以形成交错电极，所述交错电极的两端在加偏置电压时能够形成电场以捕获位于折弯状结构中的待分析样品中的细胞。

7.根据权利要求6所述的微筛过滤器，其特征在于，所述导电层的上方设置聚焦物镜，透过所述聚焦物镜进入的光能够在所述光敏层上产生光斑。

8.根据权利要求6所述的微筛过滤器，其特征在于，所述基板与所述光敏层之间设置氮化硅薄膜，且所述氮化硅薄膜上打孔后形成所述微筛孔阵列。

9.根据权利要求6所述的微筛过滤器，其特征在于，所述基板包括硅基板，所述基板背离所述光敏层的表面被刻蚀后形成硅支撑柱。

10.根据权利要求6所述的微筛过滤器，其特征在于，所述导电层包括氧化铟锡薄膜，所述光敏层包括氢化非晶硅薄膜。