[实用新型]一种微筛过滤器

说明书

本实用新型涉及细胞分析技术领域，具体公开了一种微筛过滤器，其中，包括：第一基板和与第一基板相对设置的第二基板，第一基板朝向第二基板的表面依次形成第一导电层和光敏层，第二基板朝向第一基板的表面形成第二导电层，光敏层与第二导电层之间形成用于捕获待分析样品中的细胞的通道，第一基板上贯穿第一导电层和光敏层形成微筛孔阵列，第一导电层和第二导电层之间在加偏置电压时能够形成电场以捕获位于通道内的待分析样品中的细胞。本实用新型提供的微筛过滤器利用了光电镊子的原理对微粒进行捕获和运输，从而解决了现有技术中通过机械镊子等操作造成对微粒或过滤器的损伤问题。

技术领域

本实用新型涉及细胞分析技术领域，尤其涉及一种微筛过滤器。

背景技术

微筛过滤器是通过在金属、硅、塑料等其它材料的平面基板上加工出微米量级的小孔阵列而制成，如图1所示。微筛过滤器在医疗、制药和食品等领域有着广泛的应用。过滤器主要用于将微颗粒或细胞从流体中分离出来。很多应用场合需要将留存在过滤器上的细胞等颗粒移走或运输以用于进一步的分析，当前尚无可靠的技术来实现这一目的。

虽然目前有通过机械镊子来拾取微筛过滤器表面上的细胞等微粒并将它们运输至目标位置，但这一方式通常会对微粒或过滤器造成损伤。

发明内容

本实用新型提供了一种微筛过滤器，解决相关技术中存在的机械镊子等对微粒或过滤器造成的损伤等问题。

作为本实用新型的第一个方面，提供一种微筛过滤器，其中，包括：第一基板和与所述第一基板相对设置的第二基板，所述第一基板朝向所述第二基板的表面依次形成第一导电层和光敏层，所述第二基板朝向所述第一基板的表面形成第二导电层，所述光敏层与所述第二导电层之间形成用于捕获待分析样品中的细胞的通道，所述第一基板上贯穿所述第一导电层和光敏层形成微筛孔阵列，所述第一导电层和所述第二导电层之间在加偏置电压时能够形成电场以捕获位于所述通道内的待分析样品中的细胞。

进一步地，所述第一基板背离所述第一导电层的一侧设置聚焦物镜，透过所述聚焦物镜进入所述第一基板的光能够在所述光敏层上产生光斑。

进一步地，所述第一导电层和所述第二导电层均包括氧化铟锡薄膜。

进一步地，所述光敏层包括氢化非晶硅薄膜。

进一步地，所述第一基板和所述第二基板均包括载玻片。

作为本实用新型的另一个方面，提供一种微筛过滤器，其中，包括：基板，所述基板上依次形成光敏层和导电层，所述基板背离所述光敏层的表面形成支撑柱，所述基板上贯穿所述导电层和光敏层形成微筛孔阵列，所述导电层在所述光敏层上呈多个折弯状结构以形成交错电极，所述交错电极的两端在加偏置电压时能够形成电场以捕获位于折弯状结构中的待分析样品中的细胞。

进一步地，所述导电层的上方设置聚焦物镜，透过所述聚焦物镜进入的光能够在所述光敏层上产生光斑。

进一步地，所述基板与所述光敏层之间设置氮化硅薄膜，且所述氮化硅薄膜上打孔后形成所述微筛孔阵列。

进一步地，所述基板包括硅基板，所述基板背离所述光敏层的表面被刻蚀后形成硅支撑柱。

进一步地，所述导电层包括氧化铟锡薄膜，所述光敏层包括氢化非晶硅薄膜。

本实用新型提供的微筛过滤器，通过位于两个基板之间的导电层形成电场，以及通过光敏层形成光斑，能够使得在两个导电层之间施加偏置电压时，位于通道内的待分析样品中的细胞被捕获，这种微筛过滤器利用了光电镊子的原理对微粒进行捕获和运输，捕获功能还可用于拾取并运输诸如细胞和细菌等附着在过滤器表面的细微物体，从而解决了现有技术中通过机械镊子等操作造成对微粒或过滤器的损伤问题。

附图说明