[实用新型]一种芯片外观参数测量台仪器

权利要求书

1.一种芯片外观参数测量台仪器，包括光学测量探头(3)，其特征在于：所述光学测量探头(3)设置在测量杆(2)的顶部，所述测量杆(2)的下端连接有底座(1)，所述底座(1)上分别设置有第一固定卡爪(4)、第二固定卡爪(5)、第一活动卡爪(6)和第二活动卡爪(7)，所述第一活动卡爪(6)滑动连接于第一滑杆(12)，所述第二活动卡爪(7)滑动连接于第二滑杆(9)，所述第一滑杆(12)和第二滑杆(9)分别设置于第一凹槽(11)和第二凹槽(8)内，所述第一滑杆(12)套设有第一弹簧(13)，所述第一弹簧(13)一侧连接于第一凹槽(11)，所述第一弹簧(13)的另一侧连接于第一活动卡爪(6)，所述第二滑杆(9)套设有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)一侧连接于第二凹槽(8)，所述第二弹簧(10)的另一侧连接于第二活动卡爪(7)，形成弹性滑动结构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片外观参数测量台仪器，其特征在于：所述第一活动卡爪(6)和第二活动卡爪(7)的顶部分别设置有第一橡胶垫片(22)和第二橡胶垫片(23)，所述第一固定卡爪(4)和第二固定卡爪(5)的顶部分别设置有第三橡胶垫片(16)和第四橡胶垫片(17)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片外观参数测量台仪器，其特征在于：所述底座(1)的一侧设置有活动抽屉(14)，所述活动抽屉(14)的内部设置有吹尘机(15)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片外观参数测量台仪器，其特征在于：所述活动抽屉(14)的两侧分别安装有第一滑轨(18)和第二滑轨(25)，所述第一滑轨(18)连接在第一滑轨接槽(24)上，所述第二滑轨(25)连接在第二滑轨接槽(19)上，所述第一滑轨(18)的尺寸和第二滑轨(25)的尺寸分别与第一滑轨接槽(24)尺寸和第二滑轨接槽(19)的尺寸相适配。

5.根据权利要求3所述的一种芯片外观参数测量台仪器，其特征在于：所述活动抽屉(14)的底部设置有按压式弹簧卡扣卡脚(20)，所述按压式弹簧卡扣卡脚(20)连接有按压式弹簧卡扣卡槽(21)，所述按压式弹簧卡扣卡槽(21)安装于底座(1)内部。