[实用新型]一种用于两个方向观察样品的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型公开了一种用于两个方向观察样品的扫描电镜样品台，包括样品台，样品台的上端安装有底座，底座的上端设有两个固定片，两个固定片均设有第一通孔，底座的上端设有安装块，安装块的下端右侧开设有与两个固定片的位置分别相对应的凹槽，固定片设于凹槽内，安装块于凹槽处从前至后贯穿有第二通孔，第一通孔和第二通孔的位置对应且大小相等，第二通孔内设有转轴，转轴的前端设有限位片，转轴的后端穿出第一通孔和第二通孔后螺纹连接有螺母。本实用新型在使用时，将样品固定在安装块的上端，便于观察样品的正面，再翻转样品台至安装块向右翻转，恢复样品台，此时样品位于安装块的右侧，便于观察样品的左侧，具有结构简单且使用方便的效果。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜技术领域，特别涉及一种用于两个方向观察样品的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料和非金属材料等检验和研究，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段。在进行扫描电镜形貌观察及能谱分析时，样品台通常为不同直径的平面圆台，在对样品进行扫描电镜分析时，依靠导电胶等将样品固定在样品台上，然后将样品台固定在扫描电镜样品室上的底座上。目前扫描电镜采用4轴或5轴试样载物台，使样品在移动行程内进行X、Y、Z各个方向的移动，可以实现样品台绕R轴360°转动，针对不同观察要求的试样，还可以使样品台绕T轴进行-15°至+75°或0°至90°的倾斜。

在观察样品时，常常需要观察的正面和侧面，目前常用的办法是同时在样品台上粘上平面和截面，但是当只有一个样品时，需要通过倾斜扫描电镜样品仓中的样品台，可是如果所需要的倾斜角度过大，在平移倾斜后的样品台时，因倾斜而上翘的一侧样品座容易撞到扫描电镜物镜极靴、二次电子探头等部件，造成仪器损损坏。为了保证不撞到样品仓内的部件，需要下降样品台，但这样一来，会使得拍摄时的工作距离过大，有时无法得到清晰图像。此时往往需要将样品拿出样品仓，改变观察面重新放入样品仓。这个过程耗时长，无法高效利用仪器。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于两个方向观察样品的扫描电镜样品台，将样品固定在安装块的上端，便于观察样品的正面，再翻转样品台至安装块向右翻转，恢复样品台，此时样品位于安装块的右侧，便于观察样品的左侧，具有结构简单且使用方便的效果。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于两个方向观察样品的扫描电镜样品台，包括样品台，所述样品台的上端可拆卸安装有底座，所述底座的上端设有两个固定片，两个固定片前后设置且相互对称，两个固定片均设有前后贯穿的第一通孔，所述底座的上端设有安装块，所述安装块呈立方体，所述安装块的下端与所述底座的上端贴合，所述安装块的下端右侧开设有与两个固定片的位置分别相对应的凹槽，所述固定片设于所述凹槽内，所述安装块于凹槽处从前至后贯穿有第二通孔，所述第一通孔和第二通孔的位置对应且大小相等，所述第二通孔内设有转轴，所述转轴的前端设有限位片，所述转轴的后端穿出所述第一通孔和第二通孔后螺纹连接有螺母。

本实用新型的进一步设置为：所述样品台的上端中部设有螺孔，所述底座的下端设有螺杆，所述螺杆螺纹配合于所述螺孔。

本实用新型的进一步设置为：所述安装块的下端右侧的棱上倒有圆角。

本实用新型的进一步设置为：所述安装块和底座的制成材料为铝。

本实用新型的进一步设置为：所述安装块为中空结构。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

其一、本实用新型在使用时，将样品固定在安装块的上端，便于观察样品的正面，再翻转样品台至安装块向右翻转，恢复样品台，此时样品位于安装块的右侧，便于观察样品的左侧，具有结构简单且使用方便的效果。

其二、本实用新型中的底座可从样品台上拆下，便于观察别的样品；而安装块可根据样品来更换不同的大小，适用范围广。

附图说明