[实用新型]一种加热器及真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202122398697.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215856298U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张波;王德智;余海春;戴秀海;龙汝磊;邵鑫 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 廖微 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 真空镀膜 装置 | ||
1.一种加热器，其特征在于，包括加热组件(100)，所述加热组件(100)包括：
加热容器(110)，包括底部(111)和侧壁(112)，所述侧壁(112)沿所述底部(111)的外周轮廓向上延伸而形成；以及
加热丝(120)，所述加热丝(120)设置在所述侧壁(112)外周以及所述底部(111)的下方。
2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热丝(120)直径为1.8mm～3mm。
3.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热容器(110)沿第一方向的长度小于40mm。
4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热容器(110)沿第二方向的长度小于75mm。
5.根据权利要求1～4任一项所述的加热器，其特征在于，所述加热组件(100)还包括：
保护罩(130)，覆盖在所述加热丝(120)外侧，且所述保护罩(130)与所述加热容器(110)连接。
6.根据权利要求1～4任一项所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：
检测件(200)，设置在所述底部(111)的下表面，所述检测件(200)被配置检测所述加热容器(110)的温度。
7.根据权利要求6所述的加热器，其特征在于，所述底部(111)上开设有凹槽，所述检测件(200)设置在所述凹槽内，且与所述底部(111)焊接连接。
8.根据权利要求1～4任一项所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：
第一连接件(300)，所述加热组件(100)设置在所述第一连接件(300)的一侧，所述第一连接件(300)将所述加热组件(100)与外部环境相隔离。
9.根据权利要求8所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：
第二连接件(400)，设置在所述第一连接件(300)背离所述加热组件(100)的一侧，所述第二连接件(400)与所述加热容器(110)连接。
10.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的加热器。
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